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姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ

グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。 また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能で、ターボ分子ポンプの新しい可能性を追求したシリーズです。 50L/s ~ 2400L/s クラスまでラインアップしています。

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)

ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形

ラインアップ

  • TG50F

    TG50F

  • TG60F

    TG60F

  • TG70F

    TG70F

  • TG220F

    TG220F

  • TG240F

    TG240F

  • TG350F

    TG350F

  • TG450F

    TG450F

  • TG800F

    TG800F

  • TG1100F

    TG1100F

  • TG1400F

    TG1400F

  • TG2400F

    TG2400F