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姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ
グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。 また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能で、ターボ分子ポンプの新しい可能性を追求したシリーズです。 50L/s ~ 2400L/s クラスまでラインアップしています。
ターボ分子ポンプ断面図(グリス潤滑玉軸受形)
ラインアップ
TG50F
TG60F
TG70F
TG220F
TG240F
TG350F
TG450F
TG800F
TG1100F
TG1400F
TG2400F
その他のシリーズ