会社情報
沿革
会社の歴史
製品の歴史
1950
1950
大阪市にて会社設立
大阪工場を開設
油回転真空ポンプの生産開始
1959
ルーツ真空ポンプの生産開始
1962
堺工場開設
1967
日本初の大容量溶鋼脱
ガス装置用
4段ブースター式
6段エジェクタを完成
世界最大級の油回転
真空ポンプK30000
（30,000L/min）を
完成
1969
中小企業研究センター賞を受賞
1971
国産初のターボ分子ポンプT650Aを販売開始
1972
八王子工場開設
1974
スペースチャンバー用粗引真空排気装置を宇宙開発事業団（現･宇宙航空研究開発機構）に納入。
1976
ターボ分子ポンプの国産化により、第1回真空技術賞を受賞
1977
理化学研究所の重イオン線形加速器にTH5000を4台納入。
* のちにこの加速器を使用して、森田准主任研究員らが2001年より本格的な超重元素合成実験を開始。2004,2005,2012年にニホニウムの観測に成功。
* のちにこの加速器を使用して、森田准主任研究員らが2001年より本格的な超重元素合成実験を開始。2004,2005,2012年にニホニウムの観測に成功。
1980
日本最大の脱ガス用蒸気エジェクタ（口径2m）を完成
スペースシミュレーションチャンバーを電子技術総合研究所(現･産業技術総合研究所)に納入。
1981
京都大学へリオトロンＥプラズマ実験
装置用大型クライオパネルを完成
1982
日本原子力研究所核融合炉
JT60用真空設備の製作に着手
対向ターゲット式スパッタリング装置の生産開始。
1983
世界初の複合分子ポンプTG550を販売開始
引き続きシリーズ化に着手
1985
1985
複合分子ポンプの開発により、
第10回真空技術賞を受賞
磁気軸受形複合分子ポンプTG600Mを販売開始
引き続きシリーズ化に着手
1986
複合分子ポンプの開発により、
日本機械学会賞を受賞
1988
名張工場開設
1989
1989
真空業界における功績により、科学技術庁長官賞を受賞
メガネフレーム用スパッタリング装置完成。
1990
世界最大のターボ分子ポンプ
TH25000を完成
1991
カリフォルニア支店を米国カリフォルニア州
サンホゼ市に開設
真空業界における功績により、藍綬褒章受章
1993
高真空ネジ溝ポンプTS440を完成
大型放射光施設“SPring-8”に主要設備排気用TMPを納入
1994
XHV対応磁気軸受形複合分子ポンプ
TG1121Mで10-10Paを達成
1995
極高真空対応ターボ分子ポンプの開発により、
第20回真空技術賞を受賞
1996
九徳松益股份有限公司（台湾）とTMPの販売及び
修理業務に関する代理店契約を締結
ソウル支店を韓国ソウル市に開設
1997
名張工場がISO9002の認証を取得
（現在はISO9001に移行）
1998
1998
新元精密工業株式会社（韓国、現・新元技術株式会社）と
TMPの修理業務に関する代理店契約を締結
八王子工場がISO9001の認証を取得
ドライ真空ポンプDSP80を開発
1999
姿勢自在型複合分子ポンプ
TG-Fシリーズを販売開始
2000
創立50周年を迎える
2001
2001
上海欧洒卡真空機器有限公司を中国上海市に設立
反応生成物対応磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MIシリーズを販売開始
2002
2002
上海事務所を開設
磁気軸受形複合分子ポンプ・
フルデジタルタイプを完成
2003
堺工場がISO9001の認証を取得
2004
2004
ソウル支店を城南市に移転
極低振動磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MLシリーズを販売開始
2005
Osaka Vacuum U.S.A.,Inc.設立
（U.S.A.カリフォルニア州)
※同時にカリフォルニア支店を廃止。
上海欧洒卡真空機器有限公司がISO9001認証取得
(0105Q14285R0S/3100)
2006
2006
ISO14001認証取得(JQA-EM5143)
超高真空形磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MUシリーズを販売開始
耐放射線仕様磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MRシリーズを販売開始
レーザーアブレーション用真空装置完成
2007
2007
四国大陽日酸株式会社と当社製品の
販売店・業務委託契約を締結
分析・計測装置向け複合分子ポンプ
TG70Fを販売開始
2008
分析・計測装置向け複合分子ポンプ
TG240Fを販売開始
円筒外面スパッタリング装置を名古屋大学に納入。
2009
コンパクトドライ真空ポンプ
DSPシリーズを販売開始
2010
2010
株式会社アヅマテクノス・九州計測器株式会社・
轟産業株式会社の３社と当社製品の販売店契約を締結
磁気軸受ベアリングの自社開発完了
2011
2011
HI-TECH VACUUM SERVICES (M)
SDN.BHD. と中低真空ポンプの修理に関する代理店契約を締結
Ebara Technologies Inc. (ETI) と
ターボ分子ポンプの修理に関する代理店契約を締結
コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプ
TGkine2200M-Bを販売開始
省エネ型ドライ真空ポンプ
ER100D/100DCを販売開始
2012
コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプ
TGkine3300M-Bを販売開始
2013
空冷式ドライ真空ポンプFR060Dを販売開始
2014
FMG Enterprises, Inc.社（U.S.A.カリフォルニア州）と
中低真空ポンプに関する北米・メキシコ地域での
修理サービス契約を締結
2015
修理サービス部門の移転をもって
八王子事業所を名張工場へ統合完了
HI-TECH VACUUM SERVICES
(THAILAND) CO., LTD.と中低真空ポンプの
修理に関する代理店契約を締結
第13回中国国際真空展覧会
最優秀展示会社(金賞)受賞
2016
2016
コントローラ・電源一体型
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TGkine4200M-Bを販売開始
コンパクトドライ真空ポンプ
DSP50 販売開始
人工流れ星用
真空チャンバー
完成。
2017
2017
Ebara Precision Machinery Europe GmbH (EPME) と
ターボ分子ポンプの修理に関する代理店契約を締結
SEMI中国 装置・材料訪日団22名
名張工場訪問
ITER向けコイル用含浸装置完成。
最新型スペースチャンバー完成。
2018
2018
「South China Morning Post」に、関連記事掲載
名張工場増設
新WEBサイト、リニューアルオープン
高エネルギー加速器研究機構（KEK）との共同研究で、
Pd・Pd/Tiコーティングにより大幅に排気性能向上に成功。
直結型油回転真空ポンプ（2段ベーン式）
VRDシリーズ 販売開始。
2019
2019
コンパクトドライ真空ポンプDSPシリーズがモデル一新
TGkine®シリーズのコントローラ分離型磁気軸受形
ターボ分子ポンプTGkine®-Rシリーズを販売開始
2020
2020
創立70周年を迎える
「South China Morning Post」に、関連記事掲載
プラズマ滅菌対応直結型油回転真空ポンプVRD-Mシリーズ
販売開始。
ロードロック式スパッタリング装置を
（地独）大阪産業技術研究所に納入。
最新型対向ターゲット式スパッタリング装置が完成。
2021
2021
直結型油回転真空ポンプ（1段ベーン式）
VSVシリーズ 販売開始。
新しい真空コンポーネント製品のパッケージ販売開始。
直結型油回転真空ポンプVRD耐圧防爆シリーズ販売開始。
2022
2022
「NEWSWEEK International Magazine」に、関連記事掲載
