会社情報

沿革

会社の歴史

製品の歴史

1950

1950

大阪市にて会社設立

大阪市にて会社設立
大阪工場を開設

油回転真空ポンプ

油回転真空ポンプの生産開始

1959

ルーツ真空ポンプ

ルーツ真空ポンプの生産開始

1962

堺工場開設

堺工場

1967

大容量溶鋼脱ガス装置用4段ブースター式6段エジェクタ

日本初の大容量溶鋼脱
ガス装置用
4段ブースター式
6段エジェクタを完成

世界最大級の油回転
真空ポンプK30000
(30,000L/min)を
完成

世界最大級の油回転真空ポンプK30000

1969

中小企業研究センター賞を受賞

中小企業研究センター賞を受賞

1971

ターボ分子ポンプT650A

国産初のターボ分子ポンプT650Aを販売開始

1972

八王子工場開設

八王子工場

1974

スペースチャンバー用粗引真空排気装置を宇宙開発事業団(現・宇宙航空研究開発機構)に納入。

スペースチャンバー用粗引真空排気装置

1976

ターボ分子ポンプの国産化により、第1回真空技術賞を受賞

1977

TH5000

理化学研究所の重イオン線形加速器にTH5000を4台納入。
* のちにこの加速器を使用して、森田准主任研究員らが2001年より本格的な超重元素合成実験を開始。2004,2005,2012年にニホニウムの観測に成功。

* のちにこの加速器を使用して、森田准主任研究員らが2001年より本格的な超重元素合成実験を開始。2004,2005,2012年にニホニウムの観測に成功。

1980

日本最大の脱ガス用蒸気エジェクタ(口径2m)を完成

日本最大の脱ガス用蒸気エジェクタ

スペースシミュレーションチャンバーを電子技術総合研究所(現・産業技術総合研究所)に納入。

スペースシミュレーションチャンバー

1981

京都大学へリオトロンEプラズマ実験
装置用大型クライオパネルを完成

京都大学へリオトロンEプラズマ実験装置用大型クライオパネル

1982

日本原子力研究所核融合炉
JT60用真空設備の製作に着手

日本原子力研究所核融合炉JT60用真空設備

対向ターゲット式スパッタリング装置の生産開始。

1983

世界初の複合分子ポンプTG550を販売開始
引き続きシリーズ化に着手

複合分子ポンプTG550

1985

1985

第10回真空技術賞を受賞

複合分子ポンプの開発により、
第10回真空技術賞を受賞

磁気軸受形複合分子ポンプTG600Mを販売開始
引き続きシリーズ化に着手

磁気軸受形複合分子ポンプTG600M

1986

複合分子ポンプの開発により、
日本機械学会賞を受賞

日本機械学会賞を受賞

1988

名張工場開設

名張工場

1989

1989

真空業界における功績により、科学技術庁長官賞を受賞

科学技術庁長官賞を受賞

メガネフレーム用スパッタリング装置完成。

メガネフレーム用スパッタリング装置

1990

世界最大のターボ分子ポンプ
TH25000を完成

ターボ分子ポンプTH25000

1991

カリフォルニア支店を米国カリフォルニア州
サンホゼ市に開設

カリフォルニア支店

真空業界における功績により、藍綬褒章受章

藍綬褒章受章

1993

高真空ネジ溝ポンプTS440を完成

高真空ネジ溝ポンプTS440

大型放射光施設“SPring-8”に主要設備排気用TMPを納入

大型放射光施設“SPring-8”に主要設備排気用TMPを納入

1994

XHV対応磁気軸受形複合分子ポンプ
TG1121Mで10-10Paを達成

XHV対応磁気軸受形複合分子ポンプTG1121M

1995

極高真空対応ターボ分子ポンプの開発により、
第20回真空技術賞を受賞

1996

九徳松益股份有限公司(台湾)とTMPの販売及び
修理業務に関する代理店契約を締結

ソウル支店を韓国ソウル市に開設

1997

名張工場がISO9002の認証を取得
(現在はISO9001に移行)

1998

1998

新元精密工業株式会社(韓国、現・新元技術株式会社)と
TMPの修理業務に関する代理店契約を締結

八王子工場がISO9001の認証を取得

ドライ真空ポンプDSP80を開発

ドライ真空ポンプDSP80

1999

姿勢自在型複合分子ポンプ
TG-Fシリーズを販売開始

姿勢自在型複合分子ポンプTG-Fシリーズ

2000

創立50周年を迎える

創立50周年

2001

2001

上海欧洒卡真空機器有限公司を中国上海市に設立

上海欧洒卡真空機器有限公司

反応生成物対応磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MIシリーズを販売開始

反応生成物対応磁気軸受形複合分子ポンプTG-MIシリーズ

2002

2002

上海事務所を開設

磁気軸受形複合分子ポンプ・
フルデジタルタイプを完成

磁気軸受形複合分子ポンプ・フルデジタルタイプ

2003

堺工場がISO9001の認証を取得

2004

2004

ソウル支店を城南市に移転

極低振動磁気軸受形複合分子ポンプTG-MLシリーズ

極低振動磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MLシリーズを販売開始

2005

Osaka Vacuum U.S.A.,Inc.設立
(U.S.A.カリフォルニア州)
※同時にカリフォルニア支店を廃止。

Osaka Vacuum U.S.A.,Inc.

上海欧洒卡真空機器有限公司がISO9001認証取得
(0105Q14285R0S/3100)

2006

2006

ISO14001認証取得(JQA-EM5143)

超高真空形磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MUシリーズを販売開始

耐放射線仕様磁気軸受形複合分子ポンプ
TG-MRシリーズを販売開始

超高真空形磁気軸受形複合分子ポンプTG-MUシリーズ
耐放射線仕様磁気軸受形複合分子ポンプTG-MRシリーズ

レーザーアブレーション用真空装置完成

2007

2007

四国大陽日酸株式会社と当社製品の
販売店・業務委託契約を締結

分析・計測装置向け複合分子ポンプ
TG70Fを販売開始

分析・計測装置向け複合分子ポンプTG70F

2008

分析・計測装置向け複合分子ポンプTG240F

分析・計測装置向け複合分子ポンプ
TG240Fを販売開始

円筒外面スパッタリング装置

円筒外面スパッタリング装置を名古屋大学に納入。

2009

コンパクトドライ真空ポンプ
DSPシリーズを販売開始

コンパクトドライ真空ポンプDSPシリーズ

2010

2010

株式会社アヅマテクノス・九州計測器株式会社・
轟産業株式会社の3社と当社製品の販売店契約を締結

磁気軸受ベアリングの自社開発完了

2011

2011

HI-TECH VACUUM SERVICES (M)
SDN.BHD. と中低真空ポンプの修理に関する代理店契約を締結

Ebara Technologies Inc. (ETI) と
ターボ分子ポンプの修理に関する代理店契約を締結

コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプTGkine2200M

コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプ
TGkine2200Mを販売開始

省エネ型ドライ真空ポンプER100D/100DC

省エネ型ドライ真空ポンプ
ER100D/100DCを販売開始

2012

コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプ
TGkine3300Mを販売開始

コントローラ・電源一体型ターボ分子ポンプTGkine3300M

2013

空冷式ドライ真空ポンプFR060Dを販売開始

空冷式ドライ真空ポンプFR060D

2014

FMG Enterprises, Inc.社(U.S.A.カリフォルニア州)と
中低真空ポンプに関する北米・メキシコ地域での
修理サービス契約を締結

2015

修理サービス部門の移転をもって
八王子事業所を名張工場へ統合完了

HI-TECH VACUUM SERVICES
(THAILAND) CO., LTD.と中低真空ポンプの
修理に関する代理店契約を締結

第13回中国国際真空展覧会
最優秀展示会社(金賞)受賞

第13回中国国際真空展覧会最優秀展示会社(金賞)受賞

2016

2016

PT. Dah Young Tech Trading Indonesia
(インドネシア)と中低真空ポンプの
修理に関する代理店契約を締結

コントローラ・電源一体型磁気軸受形複合分子ポンプ
TGkine4200Mを販売開始

コントローラ・電源一体型磁気軸受形複合分子ポンプTGkine4200M
コンパクトドライ真空ポンプDSP50

コンパクトドライ真空ポンプ
DSP50 販売開始

2017

2017

Ebara Precision Machinery Europe GmbH (EPME) と
ターボ分子ポンプの修理に関する代理店契約を締結

SEMI中国 装置・材料訪日団22名
名張工場訪問

SEMI中国 装置・材料訪日団22名名張工場訪問

磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TG907M ⁄ TG1307M 販売開始

磁気軸受形ターボ分子ポンプTG907M ⁄ TG1307M

ITER向けコイル用含浸装置完成。

ITER向けコイル用含浸装置

最新型スペースチャンバー完成。

最新型スペースチャンバー

2018

2018

「South China Morning Post」に、関連記事掲載

「South China Morning Post」に、関連記事掲載

名張工場増設

名張工場増設

磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TG397M ⁄ TG427M 販売開始

磁気軸受形ターボ分子ポンプTG397M ⁄ TG427M

新WEBサイト、リニューアルオープン