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ドライ真空ポンプを使った真空排気システム
組み合わせ一覧
ルーツ真空ポンプとの組み合わせ
腐食性ガスに強く、またシステム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空排気システムです。
ルーツ真空ポンプ2段との組み合わせ
ルーツ真空ポンプを2段組み合せて、より高真空を得る、環境対応型の真空排気システムです。
エジェクタとの組み合わせ
大容量排気に適したエジェクタとドライ真空ポンプを組み合せた、オイルフリーの環境対応型真空排気システムです。
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