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  • チャンバーの材質
    例)SUS304 <全角>
  • チャンバーの内部機器類
    例)電子銃、蒸着源 <全角>
  • 排気容積
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  • ポンプ-装置間の配管状況
    例)配管口径・距離 <全角>
  • 希望到達圧力
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  • プロセス(常用)圧力
     Pa <半角英数>
  • 吐出圧力
     Pa <半角英数>
  • 排気時間(到達圧力まで)
     分 <半角英数>
  • 排気時間(プロセス圧力まで)
     分 <半角英数>
  • 吸入温度
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  • 吸引(導入)ガス種類
    例)空気、水蒸気 <全角>
  • 吸入(導入)ガス量
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  • 運転状況
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  • 電気(電圧)
     V <半角英数>
  • 電気(周波数)
  • 電気(相数)
    3相
  • 冷却水供給温度
     ℃ <半角英数>
  • 圧縮空気
     MPaG <半角英数>
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     Pa <半角英数>
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  • C)吸引(導入)ガス種類
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     Kg/h <半角英数>
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