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油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ
油潤滑玉軸受を採用しています。 200L/s~5500L/sまでの全クラスにケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスを排気する用途に対応します。
ターボ分子ポンプ断面図(油潤滑玉軸受タイプ)
ラインアップ
TG203
TG553
TG1003
TG1303
TG1813
TG2813
TG3213
TG3413
TG5000/TG5003
TG5500/5503
その他のシリーズ