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油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ

油潤滑玉軸受を採用しています。 200L/s～5500L/sまでの全クラスにケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスを排気する用途に対応します。

ターボ分子ポンプ断面図（油潤滑玉軸受タイプ）

ターボ分子ポンプ断面図（油潤滑玉軸受タイプ）

ラインアップ

  • TG203

    TG203

  • TG553

    TG553

  • TG1003

    TG1003

  • TG1303

    TG1303

  • TG1813

    TG1813

  • TG2813

    TG2813

  • TG3213

    TG3213

  • TG3413

    TG3413

  • TG5000/TG5003

    TG5000/TG5003

  • TG5500/5503

    TG5500/5503

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