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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine^®-Bシリーズ

コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。

ターボ分子ポンプ断面図（コントローラ一体磁気軸受形）

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