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TG350F

■取付姿勢自在

■コンパクトサイズ

■省エネルギー

■急速ベント停止が可能

■大気突入に強い構造

■シリアル通信可能

■安全規格適合　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。

• 仕様
• 外観寸法図
• 性能曲線
• コントローラ

仕様

型式		TG350F
吸気口フランジ		VG100/ISO-R100/CF100
排気速度	VG/ISO-R・CF　N2 (L/s)	350/330
	VG/ISO-R・CF　N2(保護金網付) (L/s)	330/310
	VG/ISO-R・CF　H2 (L/s)	210/210
最大圧縮比	N2	1×108
	H2	2×103
到達圧力	(Pa/Torr)	<1×10-6/<7.5×10-9
最大ガス流量※1	(sccm)	500
起動時間	(min)	2-2.5
停止時間	(min)	5-6.5
許容補助圧力	(Pa/Torr)	260/2
推奨補助ポンプ	(L/min)	≧80
取付姿勢		自在
質量	VG・ISO-R/CF(kg)	6/9
コントローラ型式		TC353

外観寸法図

• VG100	φ185	15	230
  CF100	φ152	21	230
  ISO-R100	φ130	12	214

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• ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ型式	TC353
入力電圧(ACV)	100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	610
出力周波数(Hz)	750
質量(kg)	2.7
標準付属品	・入力コネクタ：1個
	・リモートコネクタ：1個
	・シリアル通信コネクタ：1個
	・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部
適用ポンプ機種	TG350F