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製品情報
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- ターボ分子ポンプ
- TG350F
TG350F
- 取付姿勢自在
- コンパクトサイズ
- 省エネルギー
- 急速ベント停止が可能
- 大気突入に強い構造
- シリアル通信可能
- 安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
- 半導体製造
- 電子銃排気、イオン源排気
- FPD製造
- 表面処理、表面改質
- 各種電子部品製造
- 分析、試験装置
- 管球製造、光学部品製造
- 加速器、放射線施設、核融合研究
- 熱処理
- 研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
| 型式 | TG350F | |
| 吸気口フランジ | VG100 ISO-R100 CF100 |
|
| 排気速度 | VG / ISO-R・CF N2 (L/s) |
350 / 330 |
| VG / ISO-R・CF N2(保護金網付) (L/s) |
330 / 310 | |
| VG / ISO-R・CF H2 (L/s) |
210 / 210 | |
| 最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 2×103 | |
| 到達圧力 | (Pa / Torr) | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
| 最大ガス流量※1 | (sccm) | 500 |
| 起動時間 | (min) | 2-2.5 |
| 停止時間 | (min) | 5-6.5 |
| 許容補助圧力 | (Pa / Torr) | 260 / 2 |
| 推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧80 |
| 取付姿勢 | 自在 | |
| 質量 | VG・ISO-R / CF(kg) | 6 / 9 |
| コントローラ型式 | TC353 | |
外観寸法図
| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
| VG100 | φ185 | 15 | 230 |
| CF100 | φ152 | 21 | 230 |
| ISO-R100 | φ130 | 12 | 214 |
● 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
コントローラ
| コントローラ型式 | TC353 |
| 入力電圧(ACV) | 100-110 (±10%) / 200-230 (±10%) |
| 入力周波数(Hz) | 50/60 |
| 入力相数 | 単相 |
| 最大所要電力(VA) | 610 |
| 出力周波数(Hz) | 750 |
| 質量(kg) | 2.7 |
| 標準付属品 | ・入力コネクタ：1個 ・リモートコネクタ：1個 ・シリアル通信コネクタ：1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部 |
| 適用ポンプ機種 | TG350F |