製品情報

TG350F

  • TG350F
  • 取付姿勢自在
  • コンパクトサイズ
  • 省エネルギー
  • 急速ベント停止が可能
  • 大気突入に強い構造
  • シリアル通信可能
  • 安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導体製造
  • 電子銃排気、イオン源排気
  • FPD製造
  • 表面処理、表面改質
  • 各種電子部品製造
  • 分析、試験装置
  • 管球製造、光学部品製造
  • 加速器、放射線施設、核融合研究
  • 熱処理
  • 研究開発

 

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

型式 TG350F
吸気口フランジ  VG100
ISO-R100
CF100
排気速度 VG / ISO-R・CF
N2 (L/s)
350 / 330
VG / ISO-R・CF
N2(保護金網付) (L/s)
330 / 310
VG / ISO-R・CF
H2 (L/s)
210 / 210
最大圧縮比  N2 1×108
H2 2×103
到達圧力  (Pa / Torr) <1×10-6 / <7.5×10-9
最大ガス流量※1 (sccm) 500
起動時間 (min)  2-2.5
停止時間 (min)  5-6.5
許容補助圧力 (Pa / Torr) 260 / 2
推奨補助ポンプ (L/min) ≧80
取付姿勢 自在
質量 VG・ISO-R / CF(kg)  6 / 9
コントローラ型式 TC353

外観寸法図

外観寸法図


VG100 φ185 15 230
CF100 φ152 21 230
ISO-R100 φ130 12 214

 

● 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC353
入力電圧(ACV) 100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 610
出力周波数(Hz) 750
質量(kg) 2.7
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・シリアル通信コネクタ:1個
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部
適用ポンプ機種 TG350F