製品情報

TG350F

  • TG350F

 

■取付姿勢自在

 

■コンパクトサイズ

 

■省エネルギー

 

■急速ベント停止が可能

 

■大気突入に強い構造

 

■シリアル通信可能

 

■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

型式 TG350F
吸気口フランジ  VG100/ISO-R100/CF100
排気速度 VG/ISO-R・CF N2 (L/s) 350/330
VG/ISO-R・CF N2(保護金網付) (L/s) 330/310
VG/ISO-R・CF H2 (L/s) 210/210
最大圧縮比  N2 1×108
H2 2×103
到達圧力  (Pa/Torr) <1×10-6/<7.5×10-9
最大ガス流量※1 (sccm) 500
起動時間 (min)  2-2.5
停止時間 (min)  5-6.5
許容補助圧力 (Pa/Torr) 260/2
推奨補助ポンプ (L/min) ≧80
取付姿勢 自在
質量 VG・ISO-R/CF(kg)  6/9
コントローラ型式 TC353

外観寸法図

外観寸法図


  • A B C D
    VG100 φ185 15 230
    CF100 φ152 21 230
    ISO-R100 φ130 12 214
  •  
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC353
入力電圧(ACV) 100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 610
出力周波数(Hz) 750
質量(kg) 2.7
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・シリアル通信コネクタ:1個
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部
適用ポンプ機種 TG350F