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TG350F
用途
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
型式 | TG350F | |
吸気口フランジ | VG100 ISO-R100 CF100 |
|
排気速度 | VG / ISO-R・CF N2 (L/s) |
350 / 330 |
VG / ISO-R・CF N2(保護金網付) (L/s) |
330 / 310 | |
VG / ISO-R・CF H2 (L/s) |
210 / 210 | |
最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 2×103 | |
到達圧力 | (Pa / Torr) | <1×10-6 / <7.5×10-9 |
最大ガス流量※1 | (sccm) | 500 |
起動時間 | (min) | 2-2.5 |
停止時間 | (min) | 5-6.5 |
許容補助圧力 | (Pa / Torr) | 260 / 2 |
推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧80 |
取付姿勢 | 自在 | |
質量 | VG・ISO-R / CF(kg) | 6 / 9 |
コントローラ型式 | TC353 |
外観寸法図
Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
VG100 | φ185 | 15 | 230 |
CF100 | φ152 | 21 | 230 |
ISO-R100 | φ130 | 12 | 214 |
● 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
コントローラ
コントローラ型式 | TC353 |
入力電圧(ACV) | 100-110 (±10%) / 200-230 (±10%) |
入力周波数(Hz) | 50/60 |
入力相数 | 単相 |
最大所要電力(VA) | 610 |
出力周波数(Hz) | 750 |
質量(kg) | 2.7 |
標準付属品 | ・入力コネクタ:1個 ・リモートコネクタ:1個 ・シリアル通信コネクタ:1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部 |
適用ポンプ機種 | TG350F |