真空排気システム

油回転真空ポンプとの組み合わせ

ターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、
油回転真空ポンプをシステム化すると、
容易な操作でしかも安価で超高真空が得られます。

ドライ真空ポンプとの組み合わせ

ターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、
ドライ真空ポンプをシステム化すると、より容易に、
オイルフリーの清浄な超高真空、極高真空が得られます。

油回転真空ポンプとの組み合わせ

大容積を効率よく排気でき、熱処理装置、溶接装置などに実績があります。

油回転真空ポンプとメカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)2段との組み合わせ

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)を、２段組み合せてより高真空を得る、真空排気システムです。

PRM/SRシリーズは、単段もしくは複数段のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と油回転真空ポンプで構成されています。油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械式真空ポンプの中で、最も経済性・効率的・操作性に優れたポンプであり、幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。
補助ポンプの油回転真空ポンプには2種類あり、揺動ピストン型（キニータイプ）のP/Kシリーズと回転翼型（ゲーデタイプ）のVRD/VSVシリーズがあります。
揺動ピストン型は耐久性に優れ、効率的排気が可能であり、堅牢な設計で、更にメンテナンス作業のしやすい構造となっています。回転翼型は運転中の振動が少ないなどの長所があり、小型真空ポンプとして多く採用されています。

液封式真空ポンプとの組み合わせ

凝縮性気体に強く、真空乾燥や真空蒸留などのプロセスに実績があります。

液封式真空ポンプとメカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)2段との組み合わせ

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)を２段もしくはそれ以上組み合せて、より高真空を得るシステムです。乾燥装置等に多くの実績があります。

PRLシリーズは、単段もしくは複数段のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と液封式真空ポンプで構成されています。液封式真空ポンプと組合せる事で、水蒸気や有機溶剤などを排気するプロセスで安定した性能を示します。
封水を循環使用する閉サイクルシステムにする事で、有機溶剤などの排水処理量を最小にする事ができます。また、吸入ガスと同じ化学品を封液として使用すると、吸入ガスの回収が簡単になり、排水規制への対応にも役立ちます。
お客様のニーズに合わせて、1段や2段以上のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と組み合わせることにより、中真空領域での大排気速度が省電力で得られ、より高い真空度も効果的に実現できます。

ドライ真空ポンプとの組み合わせ

腐食性ガスに強く、またシステム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空排気システムです。

ドライ真空ポンプとメカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)2段との組み合わせ

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)を２段組み合せてより高真空を得る、環境対応型の真空排気システムです。

PRDシリーズは、単段もしくは複数段のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）とドライ真空ポンプで構成されています。ドライ真空ポンプと組合せる事で、ケミカル対応が可能になり、システム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空システムです。

お客様のニーズに合わせて、1段や2段以上のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と組み合わせることにより、より高い真空度を効果的に実現できます。

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)との組み合わせ

大容積を効率よく排気でき、熱処理装置、溶接装置などに実績があります。

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)2段との組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段組み合せてより高真空を得る、真空排気システムです。

PRM/SRシリーズは、単段もしくは複数段のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と油回転真空ポンプで構成されています。油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械式真空ポンプの中で、最も経済性・効率的・操作性に優れたポンプであり、幅広い用途に対応しているため、世界中でたくさん使用されています。
補助ポンプの油回転真空ポンプには2種類あり、揺動ピストン型（キニータイプ）のP/Kシリーズと回転翼型（ゲーデタイプ）のVRD/VSVシリーズがあります。
揺動ピストン型は耐久性に優れ、効率的排気が可能であり、堅牢な設計で、更にメンテナンス作業のしやすい構造となっています。回転翼型は運転中の振動が少ないなどの長所があり、小型真空ポンプとして多く採用されています。

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)との組み合わせ

凝縮性気体に強く、真空乾燥や真空蒸留などのプロセスに実績があります。

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)2段との組み合わせ

ルーツ真空ポンプを２段もしくはそれ以上組み合せて、より高真空を得るシステムです。乾燥装置等に多くの実績があります。

PRLシリーズは、単段もしくは複数段のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と液封式真空ポンプで構成されています。液封式真空ポンプと組合せる事で、水蒸気や有機溶剤などを排気するプロセスで安定した性能を示します。
封水を循環使用する閉サイクルシステムにする事で、有機溶剤などの排水処理量を最小にする事ができます。また、吸入ガスと同じ化学品を封液として使用すると、吸入ガスの回収が簡単になり、排水規制への対応にも役立ちます。
お客様のニーズに合わせて、1段や2段以上のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と組み合わせることにより、中真空領域での大排気速度が省電力で得られ、より高い真空度も効果的に実現できます。

液封式真空ポンプとの組み合わせ

大容量排気に適したエジェクタと、排水処理が不要な液封式真空ポンプを組み合せた環境対応型の真空排気システムです。エジェクタの段数、メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)の有無等、条件により変更することができます。

ドライ真空ポンプとの組み合わせ

大容量排気に適したエジェクタとドライ真空ポンプを組み合せた、オイルフリーの環境対応型真空排気システムです。

2段ブースタ式4段エジェクタの組み合わせ

脱ガス用のような大容量排気に適しており、吸入圧力に合わせて段数を変更する事ができます。耐蝕性材料も自由に選択でき、目的に合わせた設計ができます。

エジェクタは、駆動蒸気や冷却水などの用役を効率良く使用出来るように、仕様に基づく個別設計となっています。ご用命の際には、下記条件を提示して下さい。

• 使用吸入圧力・吸入気体の種類（出来れば分子量と特性）および量

• 吸入気体温度・駆動源の種類、圧力、・冷却水温度

• コンデンサのご希望型式・被排気容積の初期排気時間

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)との組み合わせ

腐食性ガスに強く、またシステム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空排気システムです。

ドライ真空ポンプとメカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)2段との組み合わせ

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)を２段組み合せてより高真空を得る、環境対応型の真空排気システムです。

PRDシリーズは、単段もしくは複数段のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）とドライ真空ポンプで構成されています。ドライ真空ポンプと組合せる事で、ケミカル対応が可能になり、システム全体としてオイルフリーにする事ができる、環境対応型の真空システムです。

お客様のニーズに合わせて、1段や2段以上のメカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）と組み合わせることにより、より高い真空度を効果的に実現できます。