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組み合わせ一覧

• 油回転真空ポンプとの組み合わせ

  

  ボールベアリングタイプのターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、油回転真空ポンプをシステム化すると、 容易な操作でしかも安価で超高真空が得られます。

• ドライ真空ポンプとの組み合わせ

  

  磁気軸受タイプのターボ分子ポンプの補助真空ポンプとして、ドライ真空ポンプをシステム化すると、より容易に、 オイルフリーの清浄な超高真空、極高真空が得られます。

• ターボ分子ポンプのタンデム利用

  

  超高真空対応ターボ分子ポンプの補助ポンプとしてターボ分子ポンプを使う場合もあります。 極高真空の領域で、水素の大きな排気速度が得られ、安定した極高真空を実現します。

• ゲッターポンプなどとの組み合わせ

  

  極高真空用ポンプとしてのイオンポンプ、ゲッターポンプ、非蒸発型ゲッターポンプ（ＮＥＧポンプ）などをターボ分子ポンプとシステム化すれば、 極高真空での各種ガス排気が容易になり、より安定した極高真空が得られます。