メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）
ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプです。
油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースタとも呼ばれます。
メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）は通常、ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用します。
特長
回転軸が強い → 低真空起動、低真空連続運転可能
負荷条件に合ったモータの選択が可能 → 設備費削減、効率的な運転により省コスト化
幅広い排気速度のポンプをラインアップ → 90～12000m³/hまで対応
補助ポンプとの組み合わせが多種多様 → ルーツ＋油回転・液封式
ポンプ室に潤滑油を用いない → 動力が少なく、かつクリーンな真空を作れる
補助ポンプの到達圧力を1～2ケタ向上
凝縮性気体を吸入しても排気特性は変わらない
オプション
メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）の運転条件として、吸入圧と背圧に許容圧力差があります。許容範囲を超えて運転すると、モータが過負荷になり、また発熱が大きくなり冷却しきれなくなります。そこで、逃し弁を取り付けることにより許容範囲を超えた場合に自動的に圧力調整を行い、吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮する事ができます。
インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で圧力コントロールをしたりする事ができます。また、機種や地域によっては、増速回転させることにより排気速度を増加（最大約40%増）させることも可能です。
メカニカルブースタポンプ
（ルーツ真空ポンプ） シリーズ一覧
RA SERIES
小型メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）
Point
コンパクト設計でシステムとしてまとめる事が容易
接ガス部がアルミ合金製であるため発錆がない
内部軸シールは非接触型のため、メンテナンス間隔はRDシリーズの2～3倍
油面のチェックは給排油口各1ヶ所で1面集中
低騒音・低振動
産業分野
- 金属/鉄鋼
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
- 機械工業
- 食品
- 重電
ラインアップ
RD SERIES
メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）
Point
コンパクト設計でシステムとしてまとめる事が容易
フランジモータと直結し、コンパクトで軽量
ドレンが内部にたまらず全負荷連続運転が可能
産業分野
- 金属/鉄鋼
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
- 機械工業
- 食品
- 重電
ラインアップ
R SERIES
大型メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）
Point
ベルト駆動で6000と12000m³/hの排気容量をラインアップ。
スペースチャンバーや、乾燥、注型、EBW、連続成膜装置などの大容量チャンバーの排気にも対応
産業分野
- 金属/鉄鋼
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
- 機械工業
- 食品
- 重電
