製品情報

TG1400F

　■取付姿勢自在

　■コンパクトサイズ

　■省エネルギー

　■急速起動

　■大気突入に強い構造

　■シリアル通信可能

　■安全規格適合　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。

仕様
外観寸法図
性能曲線
コントローラ

仕様

型式		TG1400F
吸気口フランジ		VG200/ISO-B200/CF200
排気速度	N₂ (L/s)	1400
	N₂(保護金網付) (L/s)	1300
	H₂ (L/s)	750
最大圧縮比	N₂	1×10⁸
最大圧縮比	H₂	4.3×10³
到達圧力	(Pa/Torr)	<1×10^-6/<7.5×10^-9
最大ガス流量^※1	(sccm)	450
起動時間	(min)	5.5-7
停止時間	(min)	15-18
許容補助圧力	(Pa/Torr)	330/2.5
推奨補助ポンプ	(L/min)	≧250
取付姿勢		自在
質量	VG・ISO-B/CF(kg)	29/30
コントローラ型式		TC1103

※1：補助ポンプ容量を500L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ型式	TC1103
入力電圧(ACV)	200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	810
出力周波数(Hz)	560
質量(kg)	8.2
標準付属品	・入力コネクタ：1個
	・リモートコネクタ：1個
	・シリアル通信コネクタ：1個
	・フェライトコア：1個
	・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部
適用ポンプ機種	TG1400F

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ
VG200	φ300	16	272
CF200	φ253	25	319
ISO-B200	φ285	16	300