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TG1400F
■取付姿勢自在
■コンパクトサイズ
■省エネルギー
■急速起動
■大気突入に強い構造
■シリアル通信可能
■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
型式 | TG1400F | |
吸気口フランジ | VG200/ISO-B200/CF200 | |
排気速度 | N2 (L/s) | 1400 |
N2(保護金網付) (L/s) | 1300 | |
H2 (L/s) | 750 | |
最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | |
到達圧力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
最大ガス流量※1 | (sccm) | 450 |
起動時間 | (min) | 5.5-7 |
停止時間 | (min) | 15-18 |
許容補助圧力 | (Pa/Torr) | 330/2.5 |
推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧250 |
取付姿勢 | 自在 | |
質量 | VG・ISO-B/CF(kg) | 29/30 |
コントローラ型式 | TC1103 |
※1:補助ポンプ容量を500L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
外観寸法図
Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
VG200 | φ300 | 16 | 272 |
CF200 | φ253 | 25 | 319 |
ISO-B200 | φ285 | 16 | 300 |
性能曲線
コントローラ
コントローラ型式 | TC1103 |
入力電圧(ACV) | 200-230 (±10%) |
入力周波数(Hz) | 50/60 |
入力相数 | 単相 |
最大所要電力(VA) | 810 |
出力周波数(Hz) | 560 |
質量(kg) | 8.2 |
標準付属品 | ・入力コネクタ:1個 |
・リモートコネクタ:1個 | |
・シリアル通信コネクタ:1個 | |
・フェライトコア:1個 | |
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部 | |
適用ポンプ機種 | TG1400F |