製品情報

TG1400F

  • TG1400F

 

 ■取付姿勢自在

 

 ■コンパクトサイズ

 

 ■省エネルギー

 

 ■急速起動

 

 ■大気突入に強い構造

 

 ■シリアル通信可能

 

 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

型式 TG1400F
吸気口フランジ  VG200/ISO-B200/CF200
排気速度 N2 (L/s) 1400
N2(保護金網付) (L/s) 1300
H2 (L/s) 750
最大圧縮比  N2 1×108
H2 4.3×103
到達圧力  (Pa/Torr) <1×10-6/<7.5×10-9
最大ガス流量※1 (sccm) 450
起動時間 (min)  5.5-7
停止時間 (min)  15-18
許容補助圧力 (Pa/Torr) 330/2.5
推奨補助ポンプ (L/min) ≧250
取付姿勢 自在
質量 VG・ISO-B/CF(kg)  29/30
コントローラ型式 TC1103

※1:補助ポンプ容量を500L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

 

 

外観寸法図

外観寸法図


  • VG200 φ300 16 272
    CF200 φ253 25 319
    ISO-B200 φ285 16 300
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC1103
入力電圧(ACV) 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 810
出力周波数(Hz) 560
質量(kg) 8.2
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・シリアル通信コネクタ:1個
・フェライトコア:1個
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部
適用ポンプ機種 TG1400F