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TG2400F

　■取付姿勢自在

　■コンパクトサイズ

　■省エネルギー

　■急速起動

　■大気突入に強い構造

　■シリアル通信可能

　■安全規格適合　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。

仕様

※1：補助ポンプ容量を1000L/minとした場合の許容最大流量
※2：パワーサプライ型式で異なります
※3：TG2400F-40用
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

性能曲線

コントローラ