カタログのダウンロードは「会員登録」が必要です。
※カタログダウンロードをご希望の方は事前にユーザー登録が必要です。
ログイン、または新規会員登録よりユーザー登録を行ってください。
ご登録いただいたお客様は、電子カタログ(PDF)、
2D-CADデータ(DXF)、3D-CADデータ(STEP、IGES) の
ダウンロードができます。
TG2400F
■取付姿勢自在
■コンパクトサイズ
■省エネルギー
■急速起動
■大気突入に強い構造
■シリアル通信可能
■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
型式 | TG2400F | TG2400F-40 | |
吸気口フランジ | VG250/ISO-B250 | ||
排気速度 | N2 (L/s) | 2400 | |
N2(保護金網付) (L/s) | 2300 | ||
H2 (L/s) | 1100 | ||
最大圧縮比 | N2 | 1×108 | |
H2 | 1.4×103 | ||
到達圧力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
最大ガス流量※1※2 | (sccm) | 900 | 1500 |
起動時間 | (min) | 5-7 | |
停止時間 | (min) | 15-18 | |
許容補助圧力 | (Pa/Torr) | 200/1.5 | |
推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧500 | |
取付姿勢 | 自在 | ||
質量 | 空冷/水冷 | 45/47 | |
コントローラ型式 | TC2403 | TC2403-10※3 |
外観寸法図
Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
VG250 | φ350 | 16 | 340 |
ISO-B250 | φ335 | 16 | 340 |
性能曲線
コントローラ
コントローラ型式 | TC2403 / TC2403-10 |
入力電圧(ACV) | 200-230 (±10%) |
入力周波数(Hz) | 50/60 |
入力相数 | 単相 |
最大所要電力(VA) | 1200 |
出力周波数(Hz) | 520 |
質量(kg) | 8.2 |
標準付属品 | ・入力コネクタ:1個 |
・リモートコネクタ:1個 | |
・シリアル通信コネクタ:1個 | |
・フェライトコア:1個 | |
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部 | |
適用ポンプ機種 | TG2400F TG2400F-40 |