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TG2400F

　■取付姿勢自在

　■コンパクトサイズ

　■省エネルギー

　■急速起動

　■大気突入に強い構造

　■シリアル通信可能

　■安全規格適合　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。

• 仕様
• 外観寸法図
• 性能曲線
• コントローラ

仕様

型式		TG2400F	TG2400F-40
吸気口フランジ		VG250/ISO-B250
排気速度	N2 (L/s)	2400
	N2(保護金網付) (L/s)	2300
	H2 (L/s)	1100
最大圧縮比	N2	1×108
	H2	1.4×103
到達圧力	(Pa/Torr)	<1×10-6/<7.5×10-9
最大ガス流量※1※2	(sccm)	900	1500
起動時間	(min)	5-7
停止時間	(min)	15-18
許容補助圧力	(Pa/Torr)	200/1.5
推奨補助ポンプ	(L/min)	≧500
取付姿勢		自在
質量	空冷/水冷	45/47
コントローラ型式		TC2403	TC2403-10※3

• ※1：補助ポンプ容量を1000L/minとした場合の許容最大流量
• ※2：パワーサプライ型式で異なります
• ※3：TG2400F-40用
• [ 使用周囲温度 ]
• 到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
• [ 対応ガス種 ]
• 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ
VG250	φ350	16	340
ISO-B250	φ335	16	340

• ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ型式	TC2403 / TC2403-10
入力電圧(ACV)	200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	1200
出力周波数(Hz)	520
質量(kg)	8.2
標準付属品	・入力コネクタ：1個
	・リモートコネクタ：1個
	・シリアル通信コネクタ：1個
	・フェライトコア：1個
	・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部
適用ポンプ機種	TG2400F    TG2400F-40