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TG60F
姿勢自在形複合分子ポンプ TG60Fの特長
- 取付姿勢自在
- コンパクトサイズ
- 省エネルギー
- 急速起動
- 急速ベント停止が可能
- 大気突入に強い構造
- 高い圧縮比
- コントローラー一体型
- 安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE （※TG60F-20のみ）
用途
- 半導体製造
- 電子銃排気、イオン源排気
- FPD製造
- 表面処理、表面改質
- 各種電子部品製造
- 分析、試験装置
- 管球製造、光学部品製造
- 加速器、放射線施設、核融合研究
- 熱処理
- 研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
