製品情報

TG60F

  • TG60F

 

 ■取付姿勢自在

 

 ■コンパクトサイズ

 

 ■省エネルギー

 

 ■急速起動

 

 ■急速ベント停止が可能

 

 ■大気突入に強い構造

 

 ■高い圧縮比

 

 ■コントローラー一体型

 

 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

  (※TG60F-20のみ)

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

型式 TG60F TG60F-20
吸気口フランジ  ISO-R63、CF63、(KF40)※4
排気速度 N2 (L/s) 60
N2(保護金網付) (L/s) 55
H2 (L/s) 22
最大圧縮比  N2 2×107
H2 2×103
到達圧力  ISO-R/CF (Pa) <5×10-6 / <1×10-6
ISO-R/CF (Torr) <3.8×10-8 / <7.5×10-9
最大ガス流量※1 自然空冷 N2 (sccm) 10
強制空冷 N2 (sccm) 20
起動時間 (min)  1.5-2
許容補助圧力 (Pa/Torr) 800 (6)
推奨補助ポンプ (L/min) ≧25
質量※2 ISO-R/CF(kg)  3.4 / 5.4
コントローラ型式※3 TC65 TC66
入力電圧(V) DC24V AC100-230V(±10%)
最大所要電力(W) 120W 160VA
  • ※1:補助ポンプ容量を25L/minとした場合の許容最大流量
  • ※2:TG60Fの場合です。TG60F-20の場合は右記になります。ISO-Rタイプ…3kg CFタイプ…5kg
  • ※3:ポンプとコントローラが一体のタイプ(TC65)と別置きタイプ(TC66)から選択できます。
  • ※4:吸気口フランジKF40の仕様は別途お問い合わせ下さい。
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は8~38℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


A B C D E F
CF63 φ114 18 170 76 141
ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5

性能曲線

性能曲線
性能曲線

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC66
入力電圧(ACV) 100-230
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 160
出力周波数(Hz) 1150
質量(kg) 2.4
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・取扱説明書:1部
適用ポンプ機種 TG60F-20