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磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ
磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、 またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。 340L/s～2400L/sクラスまでラインアップしています。
ターボ分子ポンプ断面図（磁気軸受タイプ）
ラインアップ
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TG390M
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TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M
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TG420M
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TG900M
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TG1300M
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TG2400M
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極低振動形 TG-MLシリーズ
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耐磁場仕様 TG-MSシリーズ
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超高真空形 TG-MUシリーズ
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耐放射線仕様 TG-MRシリーズ
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反応生成物対応 TG-MIシリーズ
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メタルシール仕様 TG-MMシリーズ
