液封式真空ポンプ（水封式真空ポンプ）

液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。
大阪真空の液封式真空ポンプは、水をはじめ様々な封液を選択できます。用途に応じた最適な封液を選択する事により、水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応できます。
また、封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、発生する廃液を最小に抑えることも可能です。

その他にも、液封式真空ポンプは他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応できるようになります。例えば、ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現できます（PRLシリーズ）。
また、アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、キャビテーション防止することができます。（１段アトモスタ：WAシリーズ、２段アトモスタWBシリーズ）

液封式真空ポンプの圧縮原理と排気行程

圧縮原理ポンプ本体は、ケーシングとその内部にある羽根車（インペラ）から構成されています。ケーシング内に封液を入れて羽根車を回転させると、封液は遠心力によりケーシング内壁に押し付けられ水のリング（水環）を形成します。そして、羽根車と封液の間には羽根で区切られた空間が多数できます。羽根車はケーシングとは偏心した位置に取り付けられているので、羽根車が回転するにつれ各空間の容積は変化します。この容積変化を利用して、吸気、圧縮、排気を連続的に行います。
排気行程吸引気体は、まず低圧側ケーシング内で圧縮されます。次に、連結管を通じて高圧側ケーシングに送られ、さらに圧縮されてから、封液と共に排気されます。排気側には封液タンクを標準装備しており、排気された気体は封液タンクに送られ、封液と分離されて大気中に放出されます。
到達圧力と封液温度到達圧力は、封液の蒸気圧に影響されます。蒸気圧以下では封液が蒸発しますので、ポンプ単体の到達圧力は封液の蒸気圧程度となります。また、蒸気圧は封液温度により変化し、封液温度が上昇すれば蒸気圧も高くなるので、ポンプ単体の到達圧力も悪くなります。

特長

水蒸気や水滴、有機溶剤などの排気に最適 → 水またはプロセス流体を封液として使用しているので、水蒸気や有機蒸気の吸引、ミストを伴う気体の吸引に効果的です。
ほこりや粉体を伴う気体の排気にも強い → ポンプ内部は、油回転真空ポンプと比べて間隔が比較的大きいので、細かい結晶類やゴミなどが混入しても、ロータロックがほとんど起こりません。
様々な封液の使用が可能 → 用途に合わせた封液を使用することにより、効率の良い排気を行うことができます。
構造が簡単で安価、取り扱いも容易 → ドライ真空ポンプなどに比べ安価で、プロセスによっては環境への影響も少なく、扱いやすいポンプです。
材質、シール形式の変更も可能 → 用途にあわせてメカニカルシール方式、接ガス部が全ステンレス（SUS）製なども製作できます。