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TG240F
姿勢自在形ターボ分子ポンプ TG240Fの特長
- 高いH2圧縮比
- 高背圧でも連続運転可能で、排気性能が安定
- コントローラ一体型
- 取付姿勢360度完全自由自在
- 振動に強く、ポンプ運転中でも移動可能
用途
- 半導体製造
- 電子銃排気、イオン源排気
- FPD製造
- 表面処理、表面改質
- 各種電子部品製造
- 分析、試験装置
- 管球製造、光学部品製造
- 加速器、放射線施設、核融合研究
- 熱処理
- 研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
