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TG240F
■高いH2圧縮比
■高背圧でも連続運転可能で、排気性能が安定
■コントローラ一体型
■取付姿勢360度完全自由自在
■振動に強く、ポンプ運転中でも移動可能
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
型式 | TG240F | |
吸気口フランジ | CF100/ISO-R100 | |
排気速度 | N2 (L/s) | 240 |
N2(保護金網付) (L/s) | 230 | |
H2 (L/s) | 160 | |
最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4×104 | |
到達圧力 | ISO-R(Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
CF(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 | |
最大ガス流量※1 | N2 (sccm) | 70 |
起動時間 | (min) | 5.5-6 |
許容補助圧力 | (Pa/Torr) | 700/5.3 |
推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧80 |
取付姿勢 | 自在 | |
質量 | ISO-R/CF(kg) | 7.3/10.5 |
コントローラ型式 | TC245(一体型)※2 | |
入力電圧(V) | DC24V | |
最大所要電力(W) | 75W |
外観寸法図
性能曲線
コントローラ
コントローラ型式 | TC246 |
入力電圧(ACV) | 100-230 (±10%) |
入力周波数(Hz) | 50/60 |
入力相数 | 単相 |
最大所要電力(VA) | 120 |
出力周波数(Hz) | 800 |
質量(kg) | 2.4 |
標準付属品 | ・入力コネクタ:1個 |
・リモートコネクタ:1個 | |
・取扱説明書(本体):1部 | |
適用ポンプ機種 | TG240F-20 |