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製品情報
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TG240F
■高いH2圧縮比
■高背圧でも連続運転可能で、排気性能が安定
■コントローラ一体型
■取付姿勢360度完全自由自在
■振動に強く、ポンプ運転中でも移動可能
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
| 型式 | TG240F | |
| 吸気口フランジ | CF100/ISO-R100 | |
| 排気速度 | N2 (L/s) | 240 |
| N2(保護金網付) (L/s) | 230 | |
| H2 (L/s) | 160 | |
| 最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×104 | |
| 到達圧力 | ISO-R(Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| CF(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 | |
| 最大ガス流量※1 | N2 (sccm) | 70 |
| 起動時間 | (min) | 5.5-6 |
| 許容補助圧力 | (Pa/Torr) | 700/5.3 |
| 推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧80 |
| 取付姿勢 | 自在 | |
| 質量 | ISO-R/CF(kg) | 7.3/10.5 |
| コントローラ型式 | TC245(一体型)※2 | |
| 入力電圧（V） | DC24V | |
| 最大所要電力（W) | 75W | |
- ※1：補助ポンプ容量を80L/minとした場合の許容最大流量
- ※2：ポンプとコントローラが一体のタイプ(TC245)と別置きのセパレートタイプ(TC246)から選択できます。
- [ 対応ガス種 ]
- 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
- [ 使用周囲温度 ]
- 到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は8～38℃です。
外観寸法図
- ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
- ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
- ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
コントローラ
| コントローラ型式 | TC246 |
| 入力電圧(ACV) | 100-230 (±10%) |
| 入力周波数(Hz) | 50/60 |
| 入力相数 | 単相 |
| 最大所要電力(VA) | 120 |
| 出力周波数(Hz) | 800 |
| 質量(kg) | 2.4 |
| 標準付属品 | ・入力コネクタ：1個 |
| ・リモートコネクタ：1個 | |
| ・取扱説明書(本体)：1部 | |
| 適用ポンプ機種 | TG240F-20 |