製品情報

• 大阪真空機器製作所トップページ
• 製品情報
• ターボ分子ポンプ
• TG240F

TG240F

　■高いH₂圧縮比

　■高背圧でも連続運転可能で、排気性能が安定

　■コントローラ一体型

　■取付姿勢360度完全自由自在

　■振動に強く、ポンプ運転中でも移動可能

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。

• 仕様
• 外観寸法図
• 性能曲線
• コントローラ

仕様

型式		TG240F
吸気口フランジ		CF100/ISO-R100
排気速度	N2 (L/s)	240
	N2(保護金網付) (L/s)	230
	H2 (L/s)	160
最大圧縮比	N2	1×108
	H2	4×104
到達圧力	ISO-R(Pa/Torr)	<1×10-6/<7.5×10-9
	CF(Pa/Torr)	<5×10-7/<3.8×10-9
最大ガス流量※1	N2 (sccm)	70
起動時間	(min)	5.5-6
許容補助圧力	(Pa/Torr)	700/5.3
推奨補助ポンプ	(L/min)	≧80
取付姿勢		自在
質量	ISO-R/CF(kg)	7.3/10.5
コントローラ型式		TC245(一体型)※2
入力電圧（V）		DC24V
最大所要電力（W)		75W

• ※1：補助ポンプ容量を80L/minとした場合の許容最大流量
• ※2：ポンプとコントローラが一体のタイプ(TC245)と別置きのセパレートタイプ(TC246)から選択できます。
• [ 対応ガス種 ]
• 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
• [ 使用周囲温度 ]
• 到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は8～38℃です。

外観寸法図

• ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ型式	TC246
入力電圧(ACV)	100-230 (±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	120
出力周波数(Hz)	800
質量(kg)	2.4
標準付属品	・入力コネクタ：1個
	・リモートコネクタ：1個
	・取扱説明書(本体)：1部
適用ポンプ機種	TG240F-20