液封式真空ポンプを使った真空排気システム
組み合わせ一覧
ルーツ真空ポンプとの組み合わせ
凝縮性気体に強く、真空乾燥や真空蒸留などのプロセスに実績があります。
ルーツ真空ポンプ2段との組み合わせ
ルーツ真空ポンプを2段もしくはそれ以上組み合せて、より高真空を得るシステムです。乾燥装置等に多くの実績があります。
エジェクタとの組み合わせ
大容量排気に適したエジェクタと、排水処理が不要な液封式真空ポンプを組み合せた環境対応型の真空排気システムです。エジェクタの段数、ルーツポンプの有無等、条件により変更することができます。