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省エネ多段ルーツ型 ERシリーズ
独自のロータ設計とアイドリング機能によりトップクラスの省エネルギーかつ小型化を実現。また、耐腐食性仕様もラインアップしており、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能。
ラインアップ
ER100D/ER100DC
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