ドライ真空ポンプ

平行する２つのスクリュー型のロータがケーシングの内壁及びロータ相互間にわずかな隙間を保ちながら回転することで、ロータとケーシング間に形成される空間が軸方向に連続移送されます。吸気口よりこの空間に気体を吸入し、排気側へ送る過程で圧縮して移送することで排気されます。
タイミングギヤレス構造により、潤滑油を使用しないオイルフリー設計を実現しています。
ブースタポンプを搭載し、0.5Paの到達圧力を実現しています。

産業分野

• 半導体/電子部品
• 理化学機器
• 医療/医薬品
• 宇宙/研究開発
• 搬送

独自のロータ設計とアイドリング機能によりトップクラスの省エネルギーかつ小型化・軽量化を実現。また、耐腐食性仕様もラインアップしており、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能。

産業分野

• 半導体/電子部品
• 光学産業
• ディスプレイ
• 理化学機器
• 金属/鉄鋼
• エネルギー
• 素材
• 自動車/航空
• 医療/医薬品
• 機械工業
• 食品
• 搬送

冷却水不要な小型・空冷式ドライ真空ポンプ。大気圧付近での排気速度が高く、大気引きを必要とする用途に最適です。また、到達付近まで一定の大排気速度を維持できることにより、排気時間の短縮が出来ます。

吸気口から吸入した気体は、ロータの回転によって各段で順次圧縮・移送されて排気口から排出されます。ポンプはロータ・ケーシングの他にモータ・軸受・ギヤなどで構成されています。軸受とギヤは潤滑油が使われていますが、真空側へ潤滑油が漏出するのを防ぐための軸封機構が設けられています。軸封機構は排気ガスや異物の軸受・潤滑油室への侵入も防ぎます。

産業分野

• 半導体/電子部品
• 光学産業
• ディスプレイ
• 理化学機器
• 金属/鉄鋼
• エネルギー
• 素材
• 自動車/航空
• 医療/医薬品
• 宇宙/研究開発
• 搬送