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ドライ真空ポンプ

ドライ真空ポンプとは、排気するガス流路のシールに油又は液体を使用しない容積移送式真空ポンプです。

半導体産業、電子部品、フラットパネルディスプレイ（FPD）、医薬品、食品などの分野では、歩溜まり改善･メンテナンス性の改善にドライ真空ポンプが必要とされています。

ドライ真空ポンプは、ロータ構造別で多段ルーツ型・スクリュー型・スクロール型・クロー型などに分類されます。

大阪真空の多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

・吸気口から吸入した気体は，ロータの回転によって各段で順次圧縮・移送されて排気口から排出されます。ポンプはロータ・ケーシングの他にモータ・軸受・ギヤなどで構成されています。

・軸受とギヤは潤滑油が使われていますが，真空側へ潤滑油が漏出するのを防ぐための軸封機構が設けられています。軸封機構は排気ガスや異物の軸受・潤滑油室への侵入も防ぎます。

大阪真空のスクリュー型ドライ真空ポンプ

・平行する２つのスクリュー型のロータがケーシングの内壁及びロータ相互間にわずかな隙間を保ちながら回転することで、ロータとケーシング間に形成される空間が軸方向に連続移送されます。吸気口よりこの空間に気体を吸入し、排気側へ送る過程で圧縮して移送することで排気されます。

・タイミングギヤレス構造により、潤滑油を使用しないオイルフリー設計を実現しています。

・ブースタポンプを搭載し、0.5Paの到達圧力を実現しています。

大阪真空のスクロール型ドライ真空ポンプ

・渦巻型のステータおよびロータの運動の組み合わせによって、排気するドライ真空ポンプです。

・同じ形をした2個の渦巻（スクロール）型ステータとロータが中心を少しずらして壁を互いに線接触する状態で、一方に対して他方が相対的に揺動みそすり運動をするようになっており、三日月型の空間に閉じ込められた気体が中心部に向かって圧縮されて、中心部の穴から排気されます。

・大阪真空・GEOWELLブランドのスクロール型ドライ真空ポンプは、当社堺工場にて製品仕様検証を実施しております。既に国内外で販売されている同等製品に引けを取らない性能を持ち、且つ低価格にて提供いたします。