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製品情報

TG50F

  • TG50F

 

  • 　取付姿勢自在
  • 　コンパクトサイズ
  • 　省エネルギー
  • 　急速起動
  • 　急速ベント停止が可能
  • 　大気突入に対応
  • 　シリアル通信可能

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

吸気口フランジ  VG65/ISO-R63/CF63
排気速度 N2 (L/s) 51
N2(保護金網付) (L/s) 49
H2 (L/s) 12
最大圧縮比  N2 1.4×107
H2 5×102
到達圧力  VG・ISO-R/CF (Pa) <3×10-6
VG・ISO-R/CF (Torr) <2.3×10-8
最大ガス流量※1 N2 (sccm) 80
起動時間 (min)  1-1.5
停止時間 (min) 1-1.5
許容補助圧力 (Pa/Torr) 1330/10
推奨補助ポンプ (L/min) ≧50
取付姿勢 自在
質量  VG･ISO-R/CF(kg) 4.2/6
コントローラ型式 TC64

 

※1：補助ポンプ容量を100L/minとした場合の許容最大流量

[ 使用周囲温度 ]

到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷形の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。

[ 対応ガス種 ]

吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


A B C D
VG65 φ145 14 147
CF63 φ114 18 182
ISO-R63 φ95 12 168

 

●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式
TC64
入力電圧(ACV)
100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)
50/60
入力相数
単相
最大所要電力(VA)
220
出力周波数(Hz)
800
質量(kg)
2.7
標準付属品
  • ・入力コネクタ：1個
  • ・リモートコネクタ：1個
  • ・シリアル通信コネクタ：1個
  • ・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部
適用ポンプ機種
TG50F