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TG50F
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
吸気口フランジ | VG65/ISO-R63/CF63 | |
排気速度 | N2 (L/s) | 51 |
N2(保護金網付) (L/s) | 49 | |
H2 (L/s) | 12 | |
最大圧縮比 | N2 | 1.4×107 |
H2 | 5×102 | |
到達圧力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <3×10-6 |
VG・ISO-R/CF (Torr) | <2.3×10-8 | |
最大ガス流量※1 | N2 (sccm) | 80 |
起動時間 | (min) | 1-1.5 |
停止時間 | (min) | 1-1.5 |
許容補助圧力 | (Pa/Torr) | 1330/10 |
推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧50 |
取付姿勢 | 自在 | |
質量 | VG・ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
コントローラ型式 | TC64 |
※1:補助ポンプ容量を100L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷形の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。
外観寸法図
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VG65 | φ145 | 14 | 147 |
CF63 | φ114 | 18 | 182 |
ISO-R63 | φ95 | 12 | 168 |
●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
コントローラ
コントローラ型式 |
TC64
|
入力電圧(ACV) |
100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
|
入力周波数(Hz) |
50/60
|
入力相数 |
単相
|
最大所要電力(VA) |
220
|
出力周波数(Hz) |
800
|
質量(kg) |
2.7
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標準付属品 |
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適用ポンプ機種 |
TG50F
|