真空装置
ターボ分子ポンプの開発を始まりとする大阪真空の清浄高真空分野への取り組みは、理化学研究分野をはじめ、半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。当社では、操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置もユーザーのニーズが充分に反映されたものになっています。
Point
ユーザーのニーズに合わせた個別仕様
高い操作性と生産性
研究開発分野において高評価の実績あり
産業分野
- 光学産業
- ディスプレイ
- エネルギー
- 宇宙/研究開発
装置構築例
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スパッタリング装置
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Vカソードスパッタリング装置
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プラズマ発生装置
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円筒外面スパッタリング装置
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レーザーアブレーション用真空装置
