カタログのダウンロードは「会員登録」が必要です。
※カタログダウンロードをご希望の方は事前にユーザー登録が必要です。
ログイン、または新規会員登録よりユーザー登録を行ってください。
ご登録いただいたお客様は、電子カタログ(PDF)、
2D-CADデータ(DXF)、3D-CADデータ(STEP、IGES) の
ダウンロードができます。
TG220F
■取付姿勢自在
■コンパクトサイズ
■省エネルギー
■急速起動
■急速ベント停止が可能
■大気突入に対応
※大気突入試験400回実証済
■シリアル通信可能
■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。
仕様
型式 | TG220F | |
吸気口フランジ | VG100/ISO-R100/CF100 | |
排気速度 | N2 (L/s) | 220 |
N2(保護金網付) (L/s) | 210 | |
H2 (L/s) | 100 | |
最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 4×102 | |
到達圧力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 |
最大ガス流量※1 | (sccm) | 400 |
起動時間 | (min) | 1-1.2 |
停止時間 | (min) | 2.5-3.5 |
許容補助圧力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧80 |
取付姿勢 | 自在 | |
質量 | VG・ISO-R/CF(kg) | 5.5/8 |
コントローラ型式 | TC223 |
外観寸法図
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
VG100 | φ185 | 15 | 200 |
CF100 | φ152 | 21 | 220 |
ISO-R100 | φ130 | 12 | 200 |
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります
コントローラ
コントローラ型式 | TC223 |
入力電圧(ACV) | 100-110 (±10%) / 200-230 (±10%) |
入力周波数(Hz) | 50/60 |
入力相数 | 単相 |
最大所要電力(VA) | 590 |
出力周波数(Hz) | 800 |
質量(kg) | 2.7 |
標準付属品 | ・入力コネクタ:1個 |
・リモートコネクタ:1個 | |
・シリアル通信コネクタ:1個 | |
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部 | |
適用ポンプ機種 | TG220F |