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TG220F

■取付姿勢自在

■コンパクトサイズ

■省エネルギー

■急速起動

■急速ベント停止が可能

■大気突入に対応

　※大気突入試験400回実証済

■シリアル通信可能

■安全規格適合　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。

• 仕様
• 外観寸法図
• 性能曲線
• コントローラ

仕様

型式		TG220F
吸気口フランジ		VG100/ISO-R100/CF100
排気速度	N2 (L/s)	220
	N2(保護金網付) (L/s)	210
	H2 (L/s)	100
最大圧縮比	N2	1×108
	H2	4×102
到達圧力	(Pa/Torr)	<1×10-6/<7.5×10-9
最大ガス流量※1	(sccm)	400
起動時間	(min)	1-1.2
停止時間	(min)	2.5-3.5
許容補助圧力	(Pa/Torr)	260/2
推奨補助ポンプ	(L/min)	≧80
取付姿勢		自在
質量	VG・ISO-R/CF(kg)	5.5/8
コントローラ型式		TC223

• ※1：補助ポンプ容量を160L/minとした場合の許容最大流量
• [ 使用周囲温度 ]
• 到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
• [ 対応ガス種 ]
• 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

• VG100	φ185	15	200
  CF100	φ152	21	220
  ISO-R100	φ130	12	200

•  
• ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります

コントローラ

コントローラ型式	TC223
入力電圧(ACV)	100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	590
出力周波数(Hz)	800
質量(kg)	2.7
標準付属品	・入力コネクタ：1個
	・リモートコネクタ：1個
	・シリアル通信コネクタ：1個
	・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部
適用ポンプ機種	TG220F