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反応生成物対応 TGkine-MIシリーズ
反応生成物が堆積しやすい装置向けとして、当社独自の断熱構造/自己昇温機構(特許第3098140)を採用し、反応生成物堆積率を大幅に減少させたシリーズです。
対象部位を含めた周囲全体をヒーティングする方法
・ 熱が分散する。有効利用できない。
・ 対象部位外への熱影響
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温
・外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!!
・主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
・最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止。
用途
仕様
型式 | TGkine2200MI | TGkine3300MI/TGkine3400MI | |
吸気口フランジ | ISO-B250 | ISO-B320/VG300/VG350 | |
排気速度 | N2(L/s) | 2200 | 3300 |
N2(保護金網付)(L/s) | 2100 | 3100 | |
H2(L/s) | 1800 | 2700 | |
最大圧縮比 | N2 | > 2×108 | > 1×108 |
H2 | 3×103 | ||
到達圧力 | (Pa/Torr) | < 2×10-7/1.5×10-9 | |
最大ガス流量 | N2(sccm) | 5000 | 2500 |
Ar(sccm) | 2600 | 1800 | |
起動時間 (min) | ≦10 | ≦11 | |
停止時間 (min) | ≦10 | ≦13 | |
許容補助圧力 | (Pa) | 100 | 100/110 |
(Torr) | 0.75 | 0.75/0.82 | |
推奨補助ポンプ (L/min) | ≧2000 | ||
質量 (kg) | 65 | 73/74/76 |
外観寸法図
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
性能曲線
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。