製品情報

TGkine3800M/TGkine4200M

  • TGkine3800M/TGkine4200M

 ■コントローラ・電源一体型
 ■省電力設計
 ■省スペース
 ■IP54標準対応
 ■多様な通信仕様
 ■国際規格適合
   CE/NRTL/SEMI-S2

用途

・半導体製造装置

・FPD製造装置

・太陽電池製造装置

・ガラス/レンズ等の光学部品加工

・フィルム加工

・加速器/宇宙環境試験装置


仕様

型式※1 TGkine3800M TGkine4200M
吸気口フランジ ISO-B320
VG300
VG350
排気口フランジ KF40/KF50
排気速度 N2 (L/s) 3600 4200
N2
(保護金網付) (L/s)
3400 4000
H(L/s) 2700
最大ガス流量※2、※3 N2 (sccm) 2800
Ar (sccm) 1400
最大圧縮比 N2 >2.0×108
H2 2000
到達圧力※4 (Pa) <5×10-7
最大排気口圧力※5 (Pa) 160
起動時間 (min) ≦12
停止時間  (min) ≦14
入力電圧  (V) AC200-240V
 相数 単相
 周波数 (Hz) 50/60
 電流  (A) Max. 5.9
 所要電力 (kVA) Max. 1.0
質量 (kg) 80 75
  • ※1:型式名につきましては、営業担当者までお問い合わせ下さい。
  • ※2:1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1気圧)
  • ※3:排気口部の補助排気速度を5000L/minとした場合の値です。
  • ※4:48時間ベーク後に得られる値です。
  • ※5:N2ガス雰囲気でポンプが損傷することなく連続運転可能な最大排気口圧力です。

外観寸法図

外観寸法図


  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線
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