产品信息

磁悬浮轴承型复合分子泵TGkine®-B系列

实现了控制器和电源的一体化。不需要输出电缆和控制器机架，减少的设备的占地面积。继承了TG-M系列的特点，通过转子的最优化设计，进一步提高了排气性能。

涡轮分子泵内部图解(电源・控制器一体型磁悬浮轴承)

ターボ分子ポンプ断面図（コントローラ一体磁気軸受形

产品群

  • TGkine1700M-B / 2200M-B

    TGkine1700M-B / 2200M-B

  • TGkine3300M-B / 3400M-B

    TGkine3300M-B / 3400M-B

  • TGkine3800M-B / 4200M-B

    TGkine3800M-B / 4200M-B

  • 耐反应生成物 （一体型）TGkineMI-B系列

    耐反应生成物 （一体型）TGkineMI-B系列

其他系列