製品情報

TGkine3300M/TGkine3400M

  • TGkine3300M/TGkine3400M

 

 ■コントローラ・電源一体型
 ■省電力設計
 ■省スペース
 ■IP54標準対応
 ■多様な通信仕様
 ■国際規格適合
   CE/NRTL/SEMI-S2

用途

・半導体製造装置

・FPD製造装置

・太陽電池製造装置

・ガラス/レンズ等の光学部品加工

・フィルム加工

・加速器/宇宙環境試験装置


仕様

型式 TGkine
3300M
TGkine
3300M-40
TGkine
3400M
吸気口フランジ VG300
ISO-B320
VG300
ISO-B320
VG350
排気口フランジ KF40/KF50
排気速度 N2 (L/s) 3300

N2
(保護金網付)
 (L/s)

3100
H2 (L/s) 2700
最大圧縮比 N2 >1×108
H2 3×103
到達圧力 VG・ISO-B
(Pa)
<2×10-7
VG・ISO-B
(Torr)
<7.5×10-9
最大ガス流量 N2 (sccm) 2100 4000 2100
起動時間 (min) ≦11
停止時間  (min) ≦13

許容補助

圧力 

(Pa/Torr) 170/1.28※1

推奨補助

ポンプ 

(L/min) ≧2000
入力電圧  (V) AC200-240V
-15%+10%
 相数 単相
 周波数 (Hz) 50/60
 電流  (A) Max. 5.3
 所要電力 (kVA) Max. 0.9

通信インターフェイス

(いづれかを選択)

Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus,
DeviceNet
保護等級 IP54
取り付け姿勢 自在
質量  VG・ISO-B
(kg)
69
コントローラ型式 一体型

特殊仕様

(詳しくは当社営業担当者までお問合わせ下さい。)

ケミカル形
  • ※1:N2ガス雰囲気中で連続運転可能な補助圧力
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃で、許容周囲温度は10~40℃です。
  • 到達圧力保証冷却水温は30℃以下で、許容冷却水温は15~30℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
    対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。

 

外観寸法図

外観寸法図


対応機種名 吸気口フランジ A B

TGkine3300M/

TGkine3300MI

ISO-B320 φ425 20
VG300 φ400 16

TGkine3400M/

TGkine3400MI

VG350 φ450 20
  • ※KF50仕様もご用意しております。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線
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