Japanese

製品情報

TGkine1700M/TGkine2200M

　■コントローラ・電源一体型
　■省電力設計
　■省スペース
　■IP54標準対応
　■多様な通信仕様
　■国際規格適合
　　　CE/NRTL/SEMI-S2

用途

・半導体製造装置

・FPD製造装置

・太陽電池製造装置

・ガラス/レンズ等の光学部品加工

・フィルム加工

・加速器/宇宙環境試験装置

仕様
外観寸法図
性能曲線

仕様

型式^※1		TGkine1700M	TGkine2200M
吸気口フランジ		ISO-B200 VG200	ISO-B250 VG250
排気口フランジ^※2		KF40/KF50
排気速度	N₂ (L/s)	1650	2200
	N₂ (保護金網付) (L/s)	1570	2100
	H₂ (L/s)	1550	1800
最大ガス流量^※3、※4	N₂ (sccm)	4400	5000
	Ar (sccm)	2600
最大圧縮比	N₂	>2×10⁸
	H₂	3×10³
到達圧力^※5	(Pa）	<2×10^-7
	(Torr）	<1.5×10^-9
最大排気口圧力^※6	(Pa)	220
	(Torr）	1.65
起動時間	(min)	≦10
停止時間	(min)	≦10
入力電圧	(V)	AC200-240V
相数		単相
周波数	(Hz)	50/60
電流	(A)	Max.5.3
所要電力	(kVA)	Max.0.9
質量	(kg）	65	62

※1：型式名につきましては、営業担当者までお問い合わせ下さい。
※2：型式により仕様が変わります。
※3：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1気圧)
※4：排気口部の補助排気速度を5000L/minとした場合の値です。
※5：48時間ベーク後に得られる値です。
※6：N₂ガス雰囲気でポンプが損傷することなく連続運転可能な最大排気口圧力です。

外観寸法図

吸気口フランジ	A	B
ISO-B250	348.5	325
VG250	343.5	320

※KF50仕様もご用意しております。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は予告無しに変更する場合があります。

性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は予告無しに変更する場合があります。