製品情報

TGkine1700M/TGkine2200M

  • TGkine1700M/TGkine2200M

 ■コントローラ・電源一体型
 ■省電力設計
 ■省スペース
 ■IP54標準対応
 ■多様な通信仕様
 ■国際規格適合
   CE/NRTL/SEMI-S2

用途

・半導体製造装置

・FPD製造装置

・太陽電池製造装置

・ガラス/レンズ等の光学部品加工

・フィルム加工

・加速器/宇宙環境試験装置


仕様

型式※1 TGkine1700M TGkine2200M
吸気口フランジ ISO-B200
VG200
ISO-B250
VG250
排気口フランジ※2 KF40/KF50
排気速度 N2 (L/s) 1650 2200
N2
(保護金網付) (L/s)
1570 2100
H2 (L/s) 1550 1800
最大ガス流量※3、※4 N2 (sccm) 4400 5000
Ar (sccm) 2600
最大圧縮比 N2 >2×108
H2 3×103
到達圧力※5 (Pa) <2×10-7
(Torr) <1.5×10-9
最大排気口圧力※6 (Pa) 220
(Torr) 1.65
起動時間 (min) ≦10
停止時間  (min) ≦10
入力電圧  (V) AC200-240V
 相数 単相
 周波数 (Hz) 50/60
 電流  (A) Max.5.3
 所要電力 (kVA) Max.0.9
質量 (kg) 65 62

 

※1:型式名につきましては、営業担当者までお問い合わせ下さい。
※2:型式により仕様が変わります。
※3:1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1気圧)
※4:排気口部の補助排気速度を5000L/minとした場合の値です。
※5:48時間ベーク後に得られる値です。
※6:N2ガス雰囲気でポンプが損傷することなく連続運転可能な最大排気口圧力です。

外観寸法図

外観寸法図


吸気口フランジ A B
ISO-B250 348.5 325
VG250 343.5 320
  • ※KF50仕様もご用意しております。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は予告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は予告無しに変更する場合があります。