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自動車・航空
高い信頼性が求められる自動車や航空機の部品・部材の製造工程では、部品の漏れ検査や熱処理、素材の品質を安定させるために真空が用いられています。例えば部品の漏れ検査には、ヘリウムリークディテクタが用いられ、圧縮比の異なる複数の吸気口を持ったスプリットフロー型ターボ分子ポンプ で主排気と差動排気を1台で賄います。当社ではリークディテクターの仕様に適合するように当製品を製作しております。
電気自動車のバッテリーを構成するリチウムイオン電池の製造でも、材料の混合や乾燥、電解液の充填などを真空環境下で行います。これらの工程の真空排気では、使われる材料に耐性のあるドライ真空ポンプが用いられます。
航空機の構造材料としての適用が拡大しているCFRP部品の製造でも、混錬や焼成工程などで真空が使用されます。当社では、大気圧からの繰り返し排気に適した直結型油回転真空ポンプ（1段式）VSVシリーズをラインアップしています。
真空炉の用途には真空焼結・真空ロウ付け・真空浸炭・真空焼き入れ・窒化処理などがあります。真空炉には、熱に対する頑丈さと、ダスト耐性や、短い排気サイクルを可能にする大排気速度の真空ポンプが求められます。当社では揺動ピストン形油回転真空ポンプPシリーズとルーツ真空ポンプRDシリーズ、粉体の排気に強い液封式真空ポンプWシリーズとルーツ真空ポンプの組み合わせを提供しています。
適応ポンプ
真空熱処理
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
- TS シリーズ（ヘリカル溝真空ポンプ）
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
PVD（スパッタリング・蒸着・イオンプレーティング）
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
