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    例)541-0041　＜半角英数＞
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  • 番地
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  • 連絡先電話番号※
    例)06-0000-0000　＜半角英数＞
  • FAX番号
    例)06-0000-0000　＜半角英数＞
  • メールアドレス※
  • 問合せ内容
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※修理をご希望の際には、下記の項目に対象機のシリアルナンバーと、 対象機が搭載されている装置名・プラント名をご入力下さい。

  • シリアルナンバー
    （製造番号）
    ＜全角＞
  • 装置名 or プラント名
    ＜全角＞

シリアルナンバーはこちらをご参照下さい。

可能な範囲でお客様の使用状況をお書き下さい。

  • ご使用の用途
    ＜全角＞
  • ご使用の装置名称、型式等
    ＜全角＞
  • ご使用のポンプメーカー、ポンプ型式
    ＜全角＞
  • ご使用のポンプメーカー、段数等
    ＜全角＞
  • チャンバー容積
    　リットル ＜半角英数＞
  • チャンバーの形状
  • 縦 or 直径
    　cm ＜半角英数＞
  • 横
    　cm ＜半角英数＞
  • 高さ
    　cm ＜半角英数＞
  • チャンバーの材質
    例）SUS304　＜全角＞
  • チャンバーの内部機器類
    例）電子銃、蒸着源　＜全角＞
  • 排気容積
    　㎥ ＜半角英数＞
  • ポンプ－装置間の配管状況
    例）配管口径・距離　＜全角＞
  • 希望到達圧力
    　Pa ＜半角英数＞
  • プロセス（常用）圧力
    　Pa ＜半角英数＞
  • 吐出圧力
    　Pa ＜半角英数＞
  • 排気時間（到達圧力まで）
    　分 ＜半角英数＞
  • 排気時間（プロセス圧力まで）
    　分 ＜半角英数＞
  • 吸入温度
    ＜半角英数＞
  • 吸引（導入）ガス種類
    例）空気、水蒸気　＜全角＞
  • 吸入（導入）ガス量
    　sccm ＜半角英数＞
  • 運転状況
    　h/1バッチ ＜半角英数＞
  • 電気（電圧）
    　V ＜半角英数＞
  • 電気（周波数）
  • 電気（相数）
    3相
  • 冷却水供給温度
    　℃ ＜半角英数＞
  • 圧縮空気
    　MPaG ＜半角英数＞
  • ■ 吸入条件
  • A）吸入圧力
    　Pa ＜半角英数＞
  • B）吸入温度
    　℃ ＜半角英数＞
  • C）吸引（導入）ガス種類
    ＜全角＞
  • D）吸引（導入）ガス量
    　Kg/h ＜半角英数＞
  • ■ 減圧条件（もし有れば）
  • A）排気容量
    　㎥ ＜半角英数＞
  • B）リーク量
    　Kg/h ＜半角英数＞
  • C）減圧時間
    　分 ＜半角英数＞
  • ■ ユーティリティ条件
  • A）駆動蒸気（飽和）
    　Kgf/㎠G ＜半角英数＞
  • B）冷却水供給温度
    　℃ ＜半角英数＞
  • 冷却水種類
  • ■ 構造条件
  • A）エジェクタ材質
    ＜全角＞
  • B）コンデンサ材質
    ＜全角＞
  • C）コンデンサ型式（BC or SC）
  • 1）SC型式
  • 2）SC構造規格
  • 3）SC強度計算規格

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各種お問合せ

製品に関するお問合せ [西日本営業部]
TEL:06-6203-3981
FAX:06-6222-3645
[東日本営業部]
TEL:03-3546-3731
FAX:03-3546-1560
[名古屋営業部]
TEL:052-950-3051
FAX:052-950-3062
総務人事(採用)、取材に関する問合せ [総務部]
TEL:06-6203-3980
FAX:06-6203-3990
経理に関する問合せ [経理部]
TEL:06-6203-3986
FAX:06-6203-3990

  • 修理・メンテナンスに関するお問合せ
  • 製品名
    担当部門・連絡先

  • ターボ分子ポンプ

    [名張工場・TMPサービスグループ]
    TEL：0595-64-1162
    FAX：0595-64-1163

  • 揺動ピストン形(キニー式)油回転真空ポンプ
    回転翼形(ゲーテ式)油回転真空ポンプ
    ルーツ真空ポンプ
    液封式真空ポンプ

    [堺工場・MPサービスグループ]
    TEL:072-271-1681
    FAX:072-271-9641

  • ドライ真空ポンプ
    エジェクタ
    油拡散真空ポンプ

    まずは営業担当者までご連絡ください。
    各営業所の連絡先は、上記「製品に関するお問合せ」をご覧ください。

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