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汽车・航空
在要求高可靠性的汽车和飞机零件·部件的制造过程中,为了使零件的泄漏检查和热处理、素材质量的稳定,都需使用真空技术。例如,在对零件进行泄露检查时使用的氦气检漏仪,通常使用具有压缩比不同的多个吸气口的分流型涡轮分子泵作为主排气和差动排气。敝司可提供适用于氦气检漏仪规格的真空泵。
电动汽车锂离子电池也需在真空环境下进行材料的混合和干燥,电解液填充等。以上工序进行真空排气时,一般使用干式真空泵。
作为飞机构造材料的CFRP零件的制造,在混炼和烧成工序等也使用真空技术。敝司生产适合大气压反复排气的直结型旋片泵(1段式)。
真空炉的用途有真空烧结、真空钎焊、真空渗碳、真空淬火、氮化处理等。真空炉要求对热的坚固性,防尘耐性,短排气循环可能的大排气速度真空泵。敝司提供摇动活塞形油滑阀真空泵P系列和罗茨真空泵RD系列,针对粉体排气,敝司提供液封式真空泵W系列和罗茨真空泵的组合。
真空热处理
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油扩散真空泵
罗茨真空泵
干式真空泵
滑阀真空泵
PVD(溅镀・蒸镀・离子电镀)
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