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ルーツ真空ポンプ

ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。ルーツ真空ポンプは通常、ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用します。

大阪真空のルーツ真空ポンプ

◎大阪真空のモータ直結型ルーツ真空ポンプ（RDシリーズ、RAシリーズ）はコンパクト設計ですのでシステムとしてまとめる事が容易にできます。ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップしており、宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応しています。


◎ルーツ真空ポンプの運転条件として、吸入圧と背圧に許容圧力差があります。許容範囲を超えて運転すると、モータが過負荷になり、また発熱が大きくなり冷却しきれなくなります。そこで大阪真空のルーツ真空ポンプ排気系では、逃し弁を取り付けることにより許容範囲を超えた場合に自動的に圧力調整を行い、吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮する事ができます。（オプション）


◎インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で圧力コントロールをしたりする事ができます。また、機種や地域によっては、増速回転させることにより排気速度を増加（最大約40%増）させることも可能です。(オプション)

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