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エネルギー
一部の太陽電池の製造工程では、光吸収層や機能膜等を真空中で成膜します。当社の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-BシリーズとTGkine®-Rシリーズは、大排気速度と高流量性能を兼ね備えています。リチウムイオン電池の製造においても、材料の混合や乾燥、電解液の充填などを真空環境下で行います。これらの工程では、使われる材料に耐性のあるドライ真空ポンプや油回転真空ポンプとルーツ真空ポンプを組み合わせた排気システムが用いられます。
液化天然ガスや水素の輸送、貯蔵では真空断熱された容器が用いられ、ガスの液化に適した極低温状態が保持される。その容器には真空断熱層があり、真空ポンプで一定圧力に保持されます。当社では、ターボ分子ポンプ或いは油拡散真空ポンプと揺動型油回転真空ポンプ Pシリーズの組み合わせが大型の容器の長時間にわたる真空層の排気を確実に行います。
核融合炉でもプラズマを封じ込める真空容器があり、ターボ分子ポンプを使用する際には磁気シールドによる磁場の遮蔽が必要で、またコントローラは離して設置する必要があります。当社では、これらに対応する耐磁場仕様のターボ分子ポンプもラインアップしています。
適応ポンプ
スパッタリング
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®MI-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®MI-R シリーズ（反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-MI シリーズ（反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
油拡散真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
真空乾燥
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
液封式真空ポンプ
エジェクタ
復水
核融合
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-ML シリーズ（極低振動仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-MR シリーズ（耐放射線仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ ）
- TG-MU シリーズ（超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
- TS シリーズ（ヘリカル溝真空ポンプ）
- ターボ分子ポンプ排気システム
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
