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素材
高機能な建築用ガラスには、Low-E膜がコーティングされます。それらは、スパッタリングで成膜するため、重いArガスに対して大排気速度で高流量性能のターボ分子ポンプが用いられます。当社の磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine®-Bシリーズ、TGkine®-Rシリーズ、TG-Mシリーズ、グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG-Fシリーズはそれらに対応しています。
自動車の構成材料として利用されるCFRP部品の製造でも、真空を使用します。当社では、大気圧からの繰り返し排気に適した直結型油回転真空ポンプ（1段式）VSVシリーズをラインアップしています。
様々な応用方法が研究されているカーボンナノ材料の生成は、真空中でのCVD法で行われます。当社では、コンパクトでクリーンな真空を得ることが出来、腐食性ガスの排気も可能な多段ルーツ型ドライ真空ポンプERシリーズをラインアップしています。
適応ポンプ
スパッタリング
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®MI-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®MI-R シリーズ（反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-MI シリーズ（反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
油拡散真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
CVD
脱気・乾燥
