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磁気軸受形複合分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ
コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。 出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。
ターボ分子ポンプ断面図(コントローラ一体磁気軸受形)
ラインアップ
TGkine1700M-B / 2200M-B
TGkine3300M-B / 3400M-B
TGkine3800M-B / 4200M-B
反応生成物対策型 TGkineMI-Bシリーズ
その他のシリーズ