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金属・鉄鋼
高級鋼の製造においては、溶鋼中の溶存ガス成分を除去する工程の真空脱ガス、鋼の表面に炭素を浸透拡散させることにより耐摩耗性を向上させる真空浸炭炉、また高機能な合金の精錬には真空溶解炉が用いられます。これらの用途では数分間で数10 Paまで排気する必要があります。またそのプロセス中に、大量のダストを含む気体があります。
当社では大排気容量の大型蒸気エジェクタや過酷なポンプダウンの繰り返し運転に耐える大型揺動ピストン形油回転真空ポンプとルーツ真空ポンプ、粉体の排気に強い液封式真空ポンプとルーツ真空ポンプの組み合わせを提供しています。
ギアの溶接等に使われる電子ビーム溶接は、高真空中で加速、収束された電子ビームで対象物を接合します。電子銃部は高真空にするため、姿勢自在型の小型のターボ分子ポンプで排気します。溶接チャンバー内も真空状態で、短時間且つ大排気速度で真空と大気圧を繰り返し排気をします。当社では溶接ダストにも強く繰り返し排気にも耐えるルーツ真空ポンプ RDシリーズ、Rシリーズと揺動ピストン形油回転ポンプ Pシリーズの組み合わせをラインアップしています。
真空脱ガス
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
液封式真空ポンプ
エジェクタ
真空含浸
真空炉
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
液封式真空ポンプ
電子ビーム溶接、プラズマ溶接
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
真空鋳造