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ディスプレイ
フラットパネルディスプレイは、大型のガラスや樹脂の基板上に、スパッタリング・CVD・露光・エッチング・イオン注入などの工程を繰り返して製造されます。多くの工程は真空環境を必要とします。
スパッタリング工程では重いArガスに対する大排気速度と流量性能や、成膜粉の吸引への対応が求められます。当社の磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ、TGkine®-Rシリーズ、TG-Mシリーズ、グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ TG-Fシリーズはそれらの用途に対応します。
エッチング工程では反応生成物や腐食性ガスへの対応、高流量性能、冷却能力が求められます。当社では、腐食性ガスの排気に対応した多段ルーツ型ドライ真空ポンプ ERシリーズや、反応生成物対策型磁気軸受形ターボ分子ポンプのTGkine®MI-Bシリーズ、TGkine®MI-Rシリーズ、TG-MIシリーズをラインアップしています。
また、極低振動型磁気軸受形ターボ分子ポンプTG-MLシリーズはCD-SEMやTEMなどの検査装置で使われます。
適応ポンプ
スパッタリング
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TS シリーズ（ヘリカル溝真空ポンプ）
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
露光
エッチング
イオン注入
液晶滴下貼り合せ
