産業分野から探す
製品一覧から探す
磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ
磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、 またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。 300L/s~3400L/sクラスまでラインアップしています。
ターボ分子ポンプ断面図(磁気軸受タイプ)
ラインアップ
TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M
TG390M
TG420M
TG900M
TG1300M
TG2400M
極低振動形 TG-MLシリーズ
超高真空形 TG-MUシリーズ
耐放射線仕様 TG-MRシリーズ
反応生成物対応 TG-MIシリーズ
その他のシリーズ