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搭载了涡轮分子泵的真空机组

组合系列

  • 与油封式真空泵组合

    与油封式真空泵组合

    主泵采用滚珠轴承复合分子泵,辅助泵使才有油封式真空泵, 实现低价组合,简单操作,得到低成本的超高真空。

  • 干式真空泵真空泵的组合

    干式真空泵真空泵的组合

    主泵采用磁悬浮涡轮分子泵,辅助泵采用干式真空泵, 简单实现无油的洁净超高真空、极高真空。

  • 串联涡轮分子泵

    串联涡轮分子泵

    辅助泵有时使用涡轮分子泵以获得超高真空。 在超高真空领域提高对于氢气的排气速度,实现稳定的极高真空。

  • 与升华泵的组合

    与升华泵的组合

    使用离子泵、升华泵、非蒸发型升华泵(NEG泵)等极高真空用泵,与涡轮分子泵组合,在极高真空易于对各种气体排气,实现稳定的极高真空。