产品信息

干式真空泵

干式真空泵是一种容积式真空泵，其排气通道的密封不使用油或液体。

干式真空泵广泛被应用在半导体产业、电子元件、平板显示（FPD）、医药、食品等领域，用于改善良品率和延长产线维护周期。

干式真空泵按转子结构可分为多级罗茨型、螺杆型、涡旋型、爪式等。

大阪真空的多级罗茨型干式真空泵

・从吸气口吸入的气体通过转子的旋转，在各级依次被压缩和输送，并从排气口排出。泵主要由转子、外壳，以及电机、轴承、齿轮等部件组成。

・轴承和齿轮使用润滑油，但为了防止润滑油泄漏到真空侧，设有轴封机构。轴封机构还可防止排气气体和异物进入轴承和润滑油室。

大阪真空的螺杆型干式真空泵

・两根平行的螺杆型转子在保持与外壳内壁及彼此之间的微小间隙的同时旋转，从而使气体从转子与外壳之间形成的空间沿轴向连续输送。气体从吸气口被吸入该空间，并在输送至排气侧的过程中被压缩排出。

・采用无同步齿轮结构，实现了无需润滑油的无油设计。

・搭载小型增压泵，实现了0.5Pa的极限压力。