干式真空泵

干式真空泵是一种容积式真空泵，其排气通道的密封不使用油或液体。
干式真空泵广泛被应用在半导体产业、电子元件、平板显示（FPD）、医药、食品等领域，用于改善良品率和延长产线维护周期。
干式真空泵按转子结构可分为多级罗茨型、螺杆型、涡旋型、爪式等。

干式真空泵系列列表

小型螺杆干泵

两根平行的螺杆型转子在保持与外壳内壁及彼此之间的微小间隙的同时旋转，从而使气体从转子与外壳之间形成的空间沿轴向连续输送。气体从吸气口被吸入该空间，并在输送至排气侧的过程中被压缩排出。
采用无同步齿轮结构，实现了无需润滑油的无油设计。
搭载小型增压泵，实现了0.5Pa的极限压力。

Point

节能型多级罗茨干泵

通过独特的转子设计和空转功能，实现了业内领先的节能性能和小型化。此外，还提供耐腐蚀规格，可广泛适用于从低负载应用（如传送腔、SEM）到腐蚀性工艺等多种应用场景。

Point

空冷型多级罗茨干泵

无需冷却水的小型空冷式干式真空泵。在接近大气压时具备高排气速度，非常适用于需要大气引入的应用。此外，能够在接近极限压力时仍保持稳定的大排气速度，从而缩短工艺排气时间。

从吸气口吸入的气体通过转子的旋转，在各级依次被压缩和输送，并从排气口排出。泵主要由转子、外壳，以及电机、轴承、齿轮等部件组成。
轴承和齿轮使用润滑油，但为了防止润滑油泄漏到真空侧，设有轴封机构。轴封机构还可防止排气气体和异物进入轴承和润滑油室。

Point