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TGkine3800M/TGkine4200M
■将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■节省空间
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格
CE/NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造设备
・FPD制造设备
・太阳能电池制造设备
・玻璃/镜片等光学元件加工
・薄膜加工
・加速器/宇宙环境实验设备
规格
| 型号※1 | TGkine3800M | TGkine4200M | |
| 吸气口法兰 | ISO-B320 VG300 |
VG350 | |
| 排气口法兰 | KF40/KF50 | ||
| 排气速度 | N2 (L/s) | 3600 | 4200 |
|
N2(附加金属保护网) (L/s) |
3400 | 4000 | |
| H2 (L/s) | 2700 | ||
| 最大气体流量※2、※3 | N2 (sccm) | 2800 | |
| Ar (sccm) | 1400 | ||
| 最大压缩比 | N2 | >2.0×108 | |
| H2 | 2000 | ||
| 极限压力※4 | (Pa） | <5×10-7 | |
| 最大排气口压力※5 | (Pa) | 160 | |
| 启动时间 | (min) | ≦12 | |
| 停止时间 | (min) | ≦14 | |
| 输入电压 | (V) | AC200-240V | |
| 相数 | 単相 | ||
| 频率 | (Hz) | 50/60 | |
| 电流 | (A) | Max. 5.9 | |
| 所需电力 | (kVA) | Max. 1.0 | |
| 重量 | (kg） | 80 | 75 |
- ※1：关于型号，请咨询销售人员。
※2：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※3：排气口的辅助压力是5000L/min情况下的数值。
※4：48小时烘烤后得到的数值。
※5：有氮气的情况下泵不会受损，可连续运转的最大排气口压力。
外观尺寸表
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性能曲线
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