TGkine3800M/TGkine4200M
■将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■节省空间
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格
CE/NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造设备
・FPD制造设备
・太阳能电池制造设备
・玻璃/镜片等光学元件加工
・薄膜加工
・加速器/宇宙环境实验设备
规格
型号※1 | TGkine3800M | TGkine4200M | |
吸气口法兰 | ISO-B320 VG300 |
VG350 | |
排气口法兰 | KF40/KF50 | ||
排气速度 | N2 (L/s) | 3600 | 4200 |
N2(附加金属保护网) (L/s) |
3400 | 4000 | |
H2 (L/s) | 2700 | ||
最大气体流量※2、※3 | N2 (sccm) | 2800 | |
Ar (sccm) | 1400 | ||
最大压缩比 | N2 | >2.0×108 | |
H2 | 2000 | ||
极限压力※4 | (Pa) | <5×10-7 | |
最大排气口压力※5 | (Pa) | 160 | |
启动时间 | (min) | ≦12 | |
停止时间 | (min) | ≦14 | |
输入电压 | (V) | AC200-240V | |
相数 | 単相 | ||
频率 | (Hz) | 50/60 | |
电流 | (A) | Max. 5.9 | |
所需电力 | (kVA) | Max. 1.0 | |
重量 | (kg) | 80 | 75 |
外观尺寸表
性能曲线