产品信息

TGkine3800M/TGkine4200M

  • TGkine3800M/TGkine4200M

 

 ■将电源控制器与分子泵一体化
 ■省电设计
 ■节省空间
 ■对应防护等级IP54
 ■多种通信接口
 ■对应国际规格
   CE/NRTL/SEMI-S2

用途

・半导体制造设备

・FPD制造设备

・太阳能电池制造设备

・玻璃/镜片等光学元件加工

・薄膜加工

・加速器/宇宙环境实验设备


规格

型号※1 TGkine3800M TGkine4200M
吸气口法兰 ISO-B320
VG300
VG350
排气口法兰 KF40/KF50
排气速度 N2 (L/s) 3600 4200

N2(附加金属保护网) (L/s)

3400 4000
H(L/s) 2700
最大气体流量※2、※3 N2 (sccm) 2800
Ar (sccm) 1400
最大压缩比 N2 >2.0×108
H2 2000
极限压力※4 (Pa) <5×10-7
最大排气口压力※5 (Pa) 160
启动时间 (min) ≦12
停止时间 (min) ≦14
输入电压  (V) AC200-240V
 相数 単相
 频率 (Hz) 50/60
 电流  (A) Max. 5.9
 所需电力 (kVA) Max. 1.0
重量 (kg) 80 75
  • ※1:关于型号,请咨询销售人员。
    ※2:1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
    ※3:排气口的辅助压力是5000L/min情况下的数值。
    ※4:48小时烘烤后得到的数值。
    ※5:有氮气的情况下泵不会受损,可连续运转的最大排气口压力。

外观尺寸表

外观尺寸表


  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线
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