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素材

高性能的建筑用玻璃一般都会镀Low-E膜。由于它们是通过溅射成膜的，所以一般针对重Ar气体使用大排气速度高流量性能的涡轮分子泵。敝司的产品群，磁悬浮轴承型涡轮分子泵TGkine®-B系列、TGkine®-R系列、TG-M系列、脂润滑轴承型涡轮分子泵TG-F系列都可对应。

 

被使用于汽车构成材料的CFRP零件的制造，也使用真空技术。敝司生产适合大气压反复排气的直结型旋片泵（1段式）。

 

研究各种应用方法的碳纳米材料是在真空环境下利用CVD法而生成的。敝司提供轻便型，清洁真空及对应腐蚀性气体排气的多级罗茨型干式真空泵ER系列。

自适应泵

溅镀

涡轮分子泵

油扩散真空泵

干式真空泵

CVD

涡轮分子泵

罗茨真空泵

滑阀真空泵

脱气・干燥

罗茨真空泵

干式真空泵

滑阀真空泵

喷射泵