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显示屏
平板显示器是在大型玻璃和树脂基板上反复进行溅射、CVD、光刻、蚀刻、离子注入等工序制造的。其诸多工序都需要在真空环境下进行。
在溅射过程中，要求对重Ar气体具有大排气速度和流量性能，以及对镀膜粉吸引的能力。敝司可提供相对应的磁悬浮轴承型涡轮分子泵TGkine®-B系列、TGkine®-R系列、TG-M系列、脂润滑轴承型涡轮分子泵TG-F系列。
蚀刻过程中要求耐反应生成物和耐腐蚀性气体，高流量性能和冷却能力。敝司可提供腐蚀性气体排气对应的多级罗茨型干式真空泵ER系列、反应生成物对应型磁悬浮轴承型涡轮分子泵的TGkine®MI-B系列、TGkine®MI-R系列、TG-MI系列。
另外，敝司的极低振动型磁悬浮轴承涡轮分子泵TG-ML系列也经常被使用于CD-SEM和TEM等检查设备中。
自适应泵
溅镀
光刻
刻蚀
离子注入
液晶滴下贴合