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薄膜コーティング
レンズやミラーなどの光学部品の中でも高機能なものは、反射防止コーティングや光学フィルターなどの機能性薄膜を、母材上に蒸着やスパッタリングなどのPVD法で成膜して製造されます。
またPVD法による成膜は、商品容器やスマートフォンの筐体、自動車の内装部品などに魅力的な外観を与える加飾用途でも用いられます。蒸着・スパッタリングの排気にはターボ分子ポンプや油拡散真空ポンプが用いられます。
プロセスに必要な高い真空度を保つには大排気速度が重要です。当社のターボ分子ポンプのラインアップは排気速度4200L/sまで揃え、大排気速度の要求に応えます。また取付方向自在ですので、最大の有効排気速度を得ることができます。
バッチ式装置では、ポンプの起動時間・停止時間も装置のサイクルタイムに影響します。当社のターボ分子ポンプは、玉軸受形・磁気軸受形共に急速停止にも対応し、サイクルタイムの短縮に寄与します。
適応ポンプ
PVD（スパッタリング・蒸着・イオンプレーティング）
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®MI-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®MI-R シリーズ（反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-MI シリーズ（反応生成物対応仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
