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薄膜涂层
在透镜和反射镜等光学零件中的高性能产品是在母材上通过蒸镀和溅射等PVD工序制造成膜防反射涂层和滤光器等功能性薄膜。
同时PVD镀膜，也能对商品容器和智能手机的框体，汽车的内部装饰零件等给予外观装饰用途。蒸镀·溅射工序的真空排气可使用涡轮分子泵和油扩散真空泵。
大排气速度对保持工艺所需的高真空度置关重要。敝司拥有可到达排气速度4200L/s的涡轮分子泵产品群，满足大排气速度的需求。另外，安装方向自由，可获得最大的有效排气速度。
在间歇式设备中，分子泵的起动时间、停止时间也会影响设备的循环时间。敝司的涡轮分子泵，对应机械轴承·磁悬浮轴承同时急速停止，有助于缩短循环时间。
自适应泵
PVD（溅镀・蒸镀・离子电镀）