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理化学機器
質量分析器、電子顕微鏡、X線回析装置等、精密な分析装置や測定装置は、測定から空気の影響を排除するため内部をしばしば真空にします。
質量分析器やそれを応用したHeリークディテクタでは、試料導入部と検出器を差動排気します。圧縮比の異なる複数の吸気口を持ったスプリットフロー型ターボ分子ポンプ はそれを1台で賄うことが出来ます。当社ではそれぞれの装置の仕様に合わせた特注品として取扱っております。
電子顕微鏡でも、観察に用いる電子が大気中の気体分子に遮られないように、顕微鏡内部は高真空に保たれます。それを排気する真空ポンプは、低振動であることが求められます。当社では、極低振動仕様の磁気軸受形ターボ分子ポンプ TG-MLシリーズと低振動且つ低騒音のスクリュー形ドライ真空ポンプ DSPシリーズをラインアップしています。
適応ポンプ
質量分析器
電子顕微鏡
表面分析
X線回析
