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機械工業
ギアの溶接等に使われる電子ビーム溶接は、高真空中で加速、収束された電子ビームで対象物を接合します。電子銃部は、姿勢自在型の小型ターボ分子ポンプで排気します。溶接チャンバー内も、大排気速度で大気圧からの繰り返し排気をします。当社では溶接ダストにも強くルーツ真空ポンプ RDシリーズと揺動ピストン形油回転ポンプ Pシリーズの組み合わせをラインアップしています。
金属3Dプリンタでも、加工室を真空にした状態で積層を行います。
真空焼結・真空ロウ付け・真空焼き入れ・窒化処理などの工程では、真空炉を使用します。真空炉を排気するポンプには、熱に対する頑丈さと、ダスト耐性や、短い排気サイクルを可能にする大排気速度が求められます。当社ではこれらの用途に対応した揺動ピストン形油回転真空ポンプ Pシリーズとルーツ真空ポンプ RDシリーズ、埃を伴う気体の排気に強い液封式真空ポンプ Wシリーズとルーツ真空ポンプの組み合わせを提供しています。
機械加工の切削刃物は、真空中でCVDやPVDにより機能膜を表面に施すことで、工具の耐久性を高めています。当社では大排気速度で成膜粉にも強い、磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine®-Bシリーズ・TGkine®-Rシリーズを提供しています。
適応ポンプ
真空成型
ルーツ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
液封式真空ポンプ
真空炉
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
- TS シリーズ（ヘリカル溝真空ポンプ）
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
液封式真空ポンプ
PVD
CVD
電子ビーム溶接、プラズマ溶接
ターボ分子ポンプ
- TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TGkine®-R シリーズ （磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-M シリーズ（磁気軸受形複合分子ポンプ）
- TG-F シリーズ（姿勢自在形複合分子ポンプ）
- TG シリーズ（油潤形滑複合分子ポンプ）
- TS シリーズ（ヘリカル溝真空ポンプ）
油拡散真空ポンプ
ルーツ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
