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極低振動形 TG-MLシリーズ

■振動を大幅に低減したTG-MLシリーズ

　・半導体製造は、より「微細化」「高集積化」へと進んでいます。同時に、分析、測定、検査工程も「高精度化」「高性能化」が要求されています。微細加工や、微小領域の測定、分析を行うためには、制御技術が向上しても、装置が振動しては意味がありません。そのため、真空ポンプには振動低減が強く要求されています。

■TG-MLシリーズの振動特性

　・ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ _{※弊社測定方法による}

　・専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！

用途

・EUV露光装置をはじめとする次世代半導体製造装

・高精度・高性能な電子顕微鏡、分析装置、計測装置など

• 仕様
• 外観寸法図
• 性能曲線
• コントローラ

仕様

		TG390ML	TG420ML	TG900ML	TG1300ML
吸気口フランジ		VG100 CF100 ISO-B100	VG150 CF160 ISO-B160	VG150 CF160 ISO-B160	VG200 CF200 ISO-B200
排気速度	N2 (L/s)	340	400	900	1300
	N2 (保護金網付)(L/s)	320	370	860	1230
	H2 (L/s)	290	300	1050	1200
最大圧縮比	N2	1×108
	H2	4.5×103		1.5×104
到達圧力	VG・ISO-B/CF (Pa)	< 1×10-6/< 1×10-7
	VG・ISO-B/CF (Torr)	< 7.5×10-9/< 7.5×10-10
起動時間 (min)		2-3		4-5
停止時間 (min)		4-5
許容補助圧力	(Pa)	400		500
	(Torr)	3		3.8
推奨補助ポンプ (L/min)		≧160		≧250
質量 (kg) VG・ISO-B/CF		14/17		34/42
ターボコントローラ型式		TC010MA

外観寸法図

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。

性能曲線

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。

コントローラ

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。