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極低振動形 TG-MLシリーズ
■振動を大幅に低減したTG-MLシリーズ
・半導体製造は、より「微細化」「高集積化」へと進んでいます。同時に、分析、測定、検査工程も「高精度化」「高性能化」が要求されています。微細加工や、微小領域の測定、分析を行うためには、制御技術が向上しても、装置が振動しては意味がありません。そのため、真空ポンプには振動低減が強く要求されています。
■TG-MLシリーズの振動特性
・ポンプ本体の振動値を1nm以下に抑えることに成功! ※弊社測定方法による
・専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減!
用途
・EUV露光装置をはじめとする次世代半導体製造装置
・高精度・高性能な電子顕微鏡、分析装置、計測装置など
仕様
TG390ML | TG420ML | TG900ML | TG1300ML | ||
吸気口フランジ | VG100 CF100 ISO-B100 |
VG150 CF160 ISO-B160 |
VG150 CF160 ISO-B160 |
VG200 CF200 ISO-B200 |
|
排気速度 | N2 (L/s) | 340 | 400 | 900 | 1300 |
N2 (保護金網付)(L/s) | 320 | 370 | 860 | 1230 | |
H2 (L/s) | 290 | 300 | 1050 | 1200 | |
最大圧縮比 | N2 | 1×108 | |||
H2 | 4.5×103 | 1.5×104 | |||
到達圧力 | VG・ISO-B/CF (Pa) | < 1×10-6/< 1×10-7 | |||
VG・ISO-B/CF (Torr) | < 7.5×10-9/< 7.5×10-10 | ||||
起動時間 (min) | 2-3 | 4-5 | |||
停止時間 (min) | 4-5 | ||||
許容補助圧力 | (Pa) | 400 | 500 | ||
(Torr) | 3 | 3.8 | |||
推奨補助ポンプ (L/min) | ≧160 | ≧250 | |||
質量 (kg) VG・ISO-B/CF | 14/17 | 34/42 | |||
ターボコントローラ型式 | TC010MA |
外観寸法図
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
性能曲線
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。
コントローラ
詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。