製品情報

極低振動形 TG-MLシリーズ

  • 極低振動形 TG-MLシリーズ

■振動を大幅に低減したTG-MLシリーズ

 ・半導体製造は、より「微細化」「高集積化」へと進んでいます。同時に、分析、測定、検査工程も「高精度化」「高性能化」が要求されています。微細加工や、微小領域の測定、分析を行うためには、制御技術が向上しても、装置が振動しては意味がありません。そのため、真空ポンプには振動低減が強く要求されています。

■TG-MLシリーズの振動特性

 ・ポンプ本体の振動値を1nm以下に抑えることに成功! ※弊社測定方法による

 ・専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減!

用途

・EUV露光装置をはじめとする次世代半導体製造装

・高精度・高性能な電子顕微鏡、分析装置、計測装置など


仕様

  TG390ML TG420ML TG900ML TG1300ML
吸気口フランジ VG100
CF100
ISO-B100
VG150
CF160
ISO-B160
VG150
CF160
ISO-B160
VG200
CF200
ISO-B200
排気速度 N2 (L/s) 340 400 900 1300
N2 (保護金網付)(L/s) 320 370 860 1230
H(L/s) 290 300 1050 1200
最大圧縮比 N2 1×108
H2 4.5×103 1.5×104
到達圧力 VG・ISO-B/CF (Pa) < 1×10-6/< 1×10-7
VG・ISO-B/CF (Torr) < 7.5×10-9/< 7.5×10-10
起動時間 (min) 2-3 4-5
停止時間 (min) 4-5
許容補助圧力 (Pa) 400 500
(Torr) 3 3.8
推奨補助ポンプ (L/min) ≧160 ≧250
質量 (kg) VG・ISO-B/CF 14/17 34/42
ターボコントローラ型式 TC010MA

外観寸法図

外観寸法図


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性能曲線

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コントローラ

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