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机械工业
电子束焊接，例如用于焊接齿轮，使用电子束在高真空中加速和聚焦来连接物体。电子枪部通常使用全方位安装小型涡轮分子泵进行真空排气。焊接腔体内部也以大排气速度从大气压反复排气。敝司提供罗茨真空泵RD系列和摇动活塞形油旋转泵P系列的组合阵容。
即使是金属3D打印机，也需在加工室处于真空环境下进行层叠。
真空炉用于真空烧结、真空钎焊、真空淬火和氮化等工艺。真空炉进行排气的真空泵，要求耐热性，防尘性，以实现短的排气循环的大排气速度。敝司提供对应的摇动活塞形油滑阀真空泵P系列和罗茨真空泵RD系列，有效排出带有灰尘气体的液封式真空泵W系列和罗茨真空泵的组合。
机械加工的切削刀具，在真空环境下通过CVD和PVD工艺在表面镀上一层机能膜以提高工具的耐久性。敝司提供大排气速度，抗沉积粉尘的磁悬浮轴承型涡轮分子泵TGkine®-B系列·TGkine®-R系列。
自适应泵
真空成形
真空炉
涡轮分子泵
- TGkine®-B 系列 （控制器・电源一体型 磁悬浮复合分子泵）
- TGkine®-R 系列（磁悬浮复合分子泵）
- TG-M 系列（磁悬浮复合分子泵）
- TG-F系列（全方位安装型复合分子泵）
- TG系列（油润滑复合分子泵）
- TS系列（螺旋槽真空泵）
油扩散真空泵
罗茨真空泵
干式真空泵
滑阀真空泵
液环真空泵
PVD
CVD
电子束焊接、等离子弧焊
涡轮分子泵
- TGkine®-B 系列 （控制器・电源一体型 磁悬浮复合分子泵）
- TGkine®-R 系列（磁悬浮复合分子泵）
- TG-M 系列（磁悬浮复合分子泵）
- TG-F系列（全方位安装型复合分子泵）
- TG系列（油润滑复合分子泵）
- TS系列（螺旋槽真空泵）
油扩散真空泵
罗茨真空泵
干式真空泵
滑阀真空泵