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ER100D/ER100DC
■同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。
到達圧力時消費電力：400W
設置面積：0.11m2
重量：60kg
■用途に応じた製品仕様をご用意しております。
ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適
ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応
用途
・クリーン排気
・スパッタ装置粗引き
・TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ
・ロードロック室、搬送室排気
・小型実験装置排気
・吸着搬送システム
・分析・測定装置の排気
・小型炉排気
・電子銃源、イオン銃源排気
仕様
| 型式 | ER100D/ER100DC（耐食型） | |
| 排気速度 （L/min） | 1670 | |
| 試験到達圧力 （Pa） | 5.0 | |
| 到達圧力時消費電力 （W） | 400 | |
| 電源 | 電圧 （V） | 200-220 |
| 周波数 （Hz） | 50/60 | |
| 相数 | 三相 | |
| 電源容量 （kVA） | 3.2 | |
| N2 パージガス流量 （Pa・m3/s） | 17-20 | |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 冷却水量 （L/min） | 1.5-3.0 | |
| 冷却水温度 （℃） | Max. 30 | |
| 質量 （㎏） | 60 | |
[対応ガス種]
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。
外観寸法図
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
