製品情報

省エネルギー型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC

  • 省エネルギー型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC

■同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。
 到達圧力時消費電力:400W
 設置面積:0.11m2
 重量:60kg

■用途に応じた製品仕様をご用意しております。
 ER100D:軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適
 ER100DC:耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応

用途

・クリーン排気
・スパッタ装置粗引き
・TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ
・ロードロック室、搬送室排気
・小型実験装置排気
・吸着搬送システム
・分析・測定装置の排気
・小型炉排気
・電子銃源、イオン銃源排気


仕様

型式 ER100D/ER100DC(耐食型)
排気速度 (L/min) 1670
試験到達圧力 (Pa) 5.0
到達圧力時消費電力 (W) 400
電源 電圧 (V) 200-220
周波数 (Hz) 50/60
相数 三相
電源容量 (kVA) 3.2
N2 パージガス流量 (Pa・m3/s) 17-20
冷却方式 水冷
冷却水量 (L/min) 1.5-3.0
冷却水温度 (℃) Max. 30
質量 (㎏) 60

[対応ガス種]
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線

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