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磁悬浮轴承型复合分子泵TG-M系列
使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。
涡轮分子泵内部图解(磁悬浮轴承)
产品群
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TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M
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TG390M
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TG420M
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TG900M
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TG1300M
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TG2400M
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耐辐射型TG-MR系列
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极低振动型TG-ML系列
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超高真空型TG-MU系列
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耐反应生成物TG-MI系列